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Prof. Dr. rer. nat.

Silvio Fuchs

Vorstand

Kontaktdaten

Laserinstitut Hochschule MittweidaTechnikumplatz 17, 09648 Mittweida+49 3727 581054Silvio.Fuchs(at)hs-mittweida.de

Besucheranschrift

Schillerstr. 10, 09648 MittweidaRaumnummer: 42-104

Projekte

NanoDigitaX - Bildgebungsanlage im extrem ultravioletten Spektralbereich für die digitale, hochauflösende Inspektion von Halbleiter-Nanostrukturen

Laufzeit: 15.10.2025 - 31.12.2027
finanziert durch: Europäischer Fonds für Regionale Entwicklung (EFRE)
Förderkennzeichen: 100757896
Projektleiter: Prof. Dr. rer. nat. Silvio Fuchs

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Publikationen

W. Eschen, R. Klas, D. Penagos Molina, S. Fuchs, G. Paulus, J. Limpert, J. Rothhardt

Coherent nanoscale imaging and chemical mapping with compact extreme ultraviolet and soft x-ray sources: Review and perspective

In: APL Photonics 10 (2025), Nr. 5, DOI: 10.1063/5.0254017

n76221journalartikel

J. Abel, J. Apell, F. Wiesner, J. Reinhard, M. Wünsche, N. Felde, G. Schmidl, J. Plentz, G. Paulus, S. Lippmann, S. Fuchs

Non-destructive depth reconstruction of Al-Al2Cu layer structure with nanometer resolution using extreme ultraviolet coherence tomography

In: Materials Characterization 211 (2024), S. 113894, DOI: 10.1016/j.matchar.2024.113894

n51996journalartikel

F. Wiesner, J. Abel, M. Hussain, V. Krishna, A. Cadore, J. Felipe, A. Valencia, M. Wünsche, J. Reinhard, M. Gruenewald, C. Cocchi, G. Paulus, G. Soavi, S. Fuchs

Optical Coherence Tomography of Van Der Waals Heterostructures Using Extreme Ultraviolet Light

In: Advanced Materials Interfaces, 2024, DOI: 10.1002/admi.202400534

n42764journalartikel

J. Reinhard, S. Kaleta, J. Abel, F. Wiesner, M. Wünsche, E. Seemann, M. Westermann, T. Weber, J. Nathanael, A. Iliou, H. Fiedorowicz, F. Hillmann, C. Eggeling, G. Paulus, S. Fuchs

Laboratory-Based Correlative Soft X-ray and Fluorescence Microscopy in an Integrated Setup

In: Microscopy and Microanalysis, 2023, DOI: 10.1093/micmic/ozad123

n14935journalartikel

S. Fuchs, G. Paulus, F. Wiesner, M. Wünsche, J. Abel, J. Reinhard

Nanoskopische 3D-Bildgebung mit laserbasiertem extrem ultraviolettem Licht

Präsentiert auf: 13. Mittweidaer Lasertagung, 2023

n14520konferenzpaper

K. Janulewicz, Ł. Węgrzyński, T. Fok, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, S. Skruszewicz, M. Wünsche, E. Eckner, S. Fuchs, J. Reinhard, J. Abel, F. Wiesner, G. Paulus, C. Rödel, C. Kim, P. Wachulak

Broadband soft X-ray source from a clustered gas target dedicated to high-resolution XCT and X-ray absorption spectroscopy

In: Optics Express 30 (2022), S. 47867, DOI: 10.1364/oe.477726

n216759journalartikelLasermesstechnik

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