NanoDigitaX

Projekte

Bildgebungsanlage im extrem ultravioletten Spektralbereich für die digitale, hochauflösende Inspektion von Halbleiter-Nanostrukturen – NanoDigitaX

Die Geräteinvestition dient dem Aufbau einer lasergetriebenen EUV-Bildgebungsanlage zur Erforschung und Entwicklung innovativer Verfahren für die nanoskopische Inspektion in der Halbleiterfertigung. Am Laserinstitut Hochschule Mittweida existierte bislang weder eine geeignete EUV-Quelle noch entsprechende Bildgebungsinfrastruktur. Die Anlage ermöglicht erstmals in Sachsen die Erforschung aktinischer EUV-Bildgebung mit hoher Auflösung und multimodaler Materialanalyse. Grundlage bildet die moderne Lasertechnologie der Erzeugung hoher Harmonischer (HHG), die eine kohärente, laserartige EUV-Strahlung bei deutlich geringeren Investitionskosten als etablierte EUV-Systeme (~100 Mio. €) bereitstellt. Ohne Förderung wäre die Realisierung aus Haushaltsmitteln der Hochschule Mittweida nicht möglich gewesen. Die Investition stärkt den profilbildenden Forschungsschwerpunkt "Lasertechnologien" der Hochschule Mittweida und erweitert ihn strategisch um die Zukunftsfelder Halbleiterdiagnostik, Photonik und KI-basierte Bildgebung. Sie schafft die Voraussetzung für anwendungsorientierte Forschungs- und Entwicklungsprojekte mit Industriepartnern aus dem "Silicon Saxony" und trägt zur Umsetzung der Innovationsstrategie des Freistaates Sachsen im Zukunftsfeld "Digitales" bei. Langfristig leistet sie einen Beitrag zur nachhaltigen, ressourceneffizienten Halbleiterproduktion und zur Fachkräftequalifizierung im Hochtechnologiesektor.