E. Syrbe, S. Büttner, M. Pfeifer, S. WeißmantelDeveloping a Sequential Mask Projection Technique for Micro-Lens Generation Using Excimer Laser Micro-Structuring
In: Proceedings of the 12th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology 1 (2024),
S. 21 - 27,
DOI: 10.5220/0012377400003651 n76502konferenzpaperLasermikrobearbeitung
E. Syrbe, S. Büttner, M. Pfeifer, S. WeißmantelUntersuchungen zur Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Bauelemente auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion
Präsentiert auf: 13. Mittweidaer Lasertagung, 2023
n10984konferenzpaperLasermikrobearbeitung