D. Metzner, F. Jahn, L. Dienelt, S. WeißmantelInnovative a-C/ta-C-Multischichtsysteme: Eigenschaften und Herstellung durch Laserpulsabscheidung
In: Scientific Reports 2025, 14. Mittweidaer Lasertagung, 2025,
S. 183 - 193,
DOI: 10.48446/opus-16220 n37006journalartikelLaserpulsabscheidung (PLD)