Mittweida goes extreme – extrem ultraviolett!

Am Laserinstitut der Hochschule Mittweida entsteht in den nächsten zwei Jahren eine neue EUV-Bildgebungsanlage zur Analyse von Nanostrukturen. Dafür nutzen wir Strahlung im extrem ultravioletten Bereich – die gleiche Technologie, mit der modernste Halbleiterstrukturen für Prozessoren, Grafik- und AI-Chips hergestellt werden.

Das Besondere: Wir setzen auf High Harmonic Generation (HHG) – eine Technologie, die 2023 mit dem Physik-Nobelpreis ausgezeichnet wurde. Damit lässt sich Infrarotlaserlicht in EUV umwandeln, inklusive aller laserartigen Eigenschaften. So können wir Nanostrukturen rein digital rekonstruieren – ganz ohne teure Optiken. Das spart enorme Kosten und eröffnet sogar neue, leistungsfähigere Bildgebungsverfahren.

Gefördert wird das Infrastrukturprojekt „NanoDigitaX“ durch die Sächsische Aufbaubank mit europäischen EFRE- und Landesmitteln des Freistaates. Für Prof. Silvio Fuchs ist es der Startschuss, die EUV-Bildgebung am Standort Mittweida weiter voranzutreiben: "Jetzt heißt es: Volle Fahrt voraus!"

Mit dem neuen EUV-System erweitert das Laserinstitut seine Forschungsschwerpunkte erneut – und setzt wichtige Impulse für den Halbleiterstandort Sachsen.

Weitere Informationen finden Sie in der News der Hochschule Mittweida.