Zeitaufgelöste Ellipsometrie

Ellipsometrie ist ein anerkanntes optisches Verfahren zur Bestimmung des komplexen Brechungsindex ñ = n + i·k von Substraten oder Schichtsystemen. Wird ein Ellipsometer mit einem Ultrakurzpulslaser kombiniert, so können mittels der Anrege-Abfrage-Technik (Pump & Probe) Laserprozesse mit einer zeitlichen Auflösung von wenigen 10 Femtosekunden vom Femtosekunden- bis in den Nanosekundenbereich beobachtet werden. Das am LHM aufgebaute System erlaubt Oberflächen mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung anzuregen (Wellenlängen 400 oder 800 nm) und diese im Wellenlängenbereich 300 nm - 10 µm ellipsometrisch zu untersuchen.

 

Entwicklung von Produkt- und Prozessinnovationen HSMW 2017, TP1: Prozessverständnis und -parameter zum schädigungsarmen und selektiven Abtragen dünner organischer Schichten der organischen Elektronik (OE) durch resonante und zwei-Photonen-resonante Anregung

Laufzeit: 2017 - 2019
Förderung: SMWK
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn

 

Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas)

Laufzeit: 2015 - 2018
Förderung: SMWK / EU (ESF Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
  • Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn
  • Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Webseite: www.laser.hs-mittweida.de/institut/projekte/ultralas.html
T. Pflug, J. Wang, M. Olbrich, M. Frank, A. Horn:
Case study on the dynamics of ultrafast laser heating and ablation of gold thin films by ultrafast pump-probe reflecotmetry and ellipsometry,
In: Applied Physics A 124 (2018), Nr. 2, S. 190

T. Pflug, M. Olbrich, M. Frank, A. Horn:
Untersuchung der dynamischen Prozesse beim Erwärmen und Abtragen dünner Goldschichten nach Anregung mit ultrakurz gepulster Strahlung,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 119-122

M. Olbrich, M. Frank, T. Pflug, A. Horn:
Vergleich verschiedener physikalischer Modelle zur Beschreibung der polarisationsabhängigen Reflektometrie und Ellipsometrie,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 111-114

Projektanfragen / -koordination
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr. rer. nat. habil. Alexander Horn
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1069
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21069
eMail: horn4(at)hs-mittweida.de