Ellipsometrie

Die optischen Eigenschaften einer Oberfläche werden vorwiegend durch den komplexen Brechungsindex ñ = n + i·k bestimmt. Dieser wird mit einem Spektral-Ellipsometer der Firma Accurion mit 1 µm Ortsauflösung bestimmt. Der komplexe Brechungsindex ñ von Einzel- oder Mehrschichtsystemen kann so für den Wellenlängenbereich 380 - 1.100 nm ermittelt werden und dient der quantitativen Beurteilung von laserbehandelten Oberflächen und dem direkten Vergleich des gemessenen Brechungsindex mit dem aus zeitaufgelösten Ellipsometer-Untersuchungen.

 

Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas)

Laufzeit: 2015 - 2018
Förderung: SMWK / EU (ESF Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
  • Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn
  • Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Webseite: www.laser.hs-mittweida.de/institut/projekte/ultralas.html
Projektanfragen / -koordination
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr. rer. nat. habil. Alexander Horn
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1069
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21069
eMail: horn4(at)hs-mittweida.de