Ellipsometrie

Die optischen Eigenschaften einer Oberfläche werden vorwiegend durch den komplexen Brechungsindex ñ = n + i·k bestimmt. Dieser wird mit einem Spektral-Ellipsometer der Firma Accurion mit 1 µm Ortsauflösung bestimmt. Der komplexe Brechungsindex ñ von Einzel- oder Mehrschichtsystemen kann so für den Wellenlängenbereich 380 - 1.100 nm ermittelt werden und dient der quantitativen Beurteilung von laserbehandelten Oberflächen und dem direkten Vergleich des gemessenen Brechungsindex mit dem aus zeitaufgelösten Ellipsometer-Untersuchungen.

Projektanfragen / -koordination
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr. rer. nat. habil. Alexander Horn
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1069
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21069
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