Lasermikrostrukturierung

Die Lasermikrostrukturierung ist ein kontaktloses und verschleißfreies Verfahren, das von der hochpräzisen Oberflächenstrukturierung bis hin zur definierten Herstellung dreidimensionaler Bauelemente mit Strukturauflösungen bis in den sub-µm-Bereich Anwendung findet. Je nach Anforderung stehen am Laserinstitut Hochschule Mittweida Lasersysteme verschiedener Wellenlängen und Pulsdauern zur Verfügung, so dass auch die Bearbeitung von besonders harten sowie transparenten Materialien bei minimaler thermischer Bauteilbelastung möglich ist.

Für die Mikro- und Nanostrukturierung kommen am LHM Kurzpulslaser mit Pulsdauern im Nanosekundenbereich, Ultrakurzpulslaser mit Pulsdauern im Piko- und Femtosekundenbereich, Excimerlaser sowie ein Fluorlaser zum Einsatz. Die eingesetzten Laserwellenlängen reichen hierbei vom infraroten bis in den vakuum-ultravioletten Bereich, wodurch es möglich ist, nahezu jedes Material zu bearbeiten. Welcher Laser eingesetzt werden kann, hängt vom zu bearbeitenden Material ab.

 

bearbeitbare Materialien:

  • Metalle (allgemein)
  • Gläser (Borosilikatglas, Floatglas, …)
  • Quarzglas (Corning 7980, SQ1, …)
  • Edelsteine (Saphir, Diamant, …)
  • wide-bandgap Materialien (CaF2, MgF2, …)
  • Kunststoffe (PTFE, TOPAS 5013, …)
  • Keramik (Al2O3, SiC, …)
  • Verbundmaterial (WC, GFK, CFK, …)
  • Hartstoffschichten (DLC, ta-C, c-BN, TiN, TiAlN, AlCrN, …)

 

Anwendungsbeispiele:

  • Realisierung hochgenauer Masken für physikalische Strahlverfahren (Laser, Elektronen)  in Quarzglas und refraktären Metallen mit verschiedenen Laserquellen
  • flexible Realisierung von hochgenauen diffraktiven optischen Elementen (DOEs) zur Formung von Laserstrahlen
  • Erzeugung von präzisen Mikrokanälen in Pyrexglasoberflächen für Mikrosysteme
  • schneller Abtrag von spintronischen Schichten mit Auflösungen bis zu 2 µm zur Erzeugung von Sensorstrukturen (Rapid Prototyping)
  • schnelle Realisierung von 2,5-D-Strukturen (z. B. Münzstempel) durch Abtrag mit Polygonspiegelscanner (Innovationen: ultraschnelle Energieverteilung und Datenverarbeitung)
  • präzise Realisierung von großflächigen Mikrostrukturen durch Anwendung von fs-Laserstrahlung (siehe Video)

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WIR! - GRAVOmer-HoluMi-3D, TP: Untersuchungen zum ultraschnellen 3D Mikromaterialabtrag mit Polygonspiegelscanner (U3DPoly)

Laufzeit: 2021 - 2023
Förderung: BMBF
Projektpartner:
  • Acsys Lasertechnik GmbH Kornwestheim
  • MOEWE Optical Solutions GmbH Mittweida
  • Sächsische Walzengravur GmbH Frankenberg/Sa.
  • Connova Deutschland GmbH Großröhrsdorf
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. A. Streek

 

High-rate laser surface texturing of 3D injection molds to fabricate functionalized easy-flow polymeric containers (LaMoFlo)

Laufzeit: 2020 - 2023
Förderung: EU (M-era.Net)
Projektpartner:
  • McGill University Montreal, Kanada
  • École de Technologie Supérieur Montreal, Kanada
  • IPL Inc. Montreal, Kanada
  • Moulexpert Inc. Québec, Kanada
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. U. Löschner

 

Entwicklung von Tribomaps für reibwerterhöhende Laserstrukturen

Laufzeit: 2019 - 2022
Förderung: AiF (BMWi)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. U. Löschner

 

Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Hartmetall und Werkzeugstahl mit anschließender Mikrostrukturierung mittels ultrakurzer Laserpulse mit den Zielen der Optimierung der Prozesseffizienz und der tribologischen und Verschleißeigenschaften des Bauteils

Laufzeit: 2019 - 2021
Förderung: SAB / ESF
Projektpartner:
  • ACSYS Lasertechnik GmbH Kornwestheim
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Webseite: www.laser.hs-mittweida.de/institut/projekte/qualitaetsoptimierter-hochrateabtrag.html

 

Stiftungsprofessur “Innovative Lasertechnologien”

Laufzeit: 2018 - 2023
Förderung: Industrie (Initiatoren: Prof. Dr.-Ing. Dr. hc. Horst Exner, Prof. Dr.-Ing. Udo Löschner)
Projektpartner:
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
  • ACSYS Lasertechnik GmbH Kornwestheim
  • EdgeWave GmbH Innovative Laser Solutions Würselen
  • fiberware Generalunternehmen für Nachrichtentechnik GmbH Mittweida
  • IMM electronics GmbH Mittweida
  • InnoLas Solutions GmbH Krailling
  • JENOPTIK Automatisierungstechnik GmbH Jena
  • KOKI TECHNIK Transmission Systems GmbH Niederwürschnitz
  • LASERVORM GmbH Altmittweida
  • LIM Laserinstitut Mittelsachsen GmbH Mittweida
  • Maicom Quarz GmbH Posterstein
  • SITEC Industrietechnologie GmbH Chemnitz
  • ULT AG Löbau
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. A. Streek

 

Entwicklung innovativer Lasertechnologien für die sächsische Wirtschaft (Eila-Sax)

Laufzeit: 2018 - 2021
Förderung: SMWK / EU (ESF Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
  • Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn
  • Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
Webseite: www.laser.hs-mittweida.de/institut/projekte/eila-sax.html

 

ZIM-Kooperationsprojekt mit Südkorea YieldMax, TP: Lasergestützte Hochrate-Ablation und Heizung von gedruckten Schichten mittels Polygonspiegelscanner

Laufzeit: 2017 - 2019
Förderung: AiF (BMWi)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz, Professur Digitale Drucktechnik und Bebilderungstechnologie
  • Konkuk University Seoul, Süd-Korea
  • Miru Systems Co., Ltd. Seongnam-si, Süd-Korea
  • Toba Co., Ltd. Seoul, Süd-Korea
  • GT+W GmbH Rödermark
  • Maurer Services GmbH Ebertsheim
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. A. Streek

 

Entwicklung von Produkt- und Prozessinnovationen HSMW 2017, TP1: Prozessverständnis und -parameter zum schädigungsarmen und selektiven Abtragen dünner organischer Schichten der organischen Elektronik (OE) durch resonante und zwei-Photonen-resonante Anregung

Laufzeit: 2017 - 2019
Förderung: SMWK
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn

 

Pilot-Strukurwandel-Verbundvorhaben: Ostralas Optimierung der strömungsmechanischen Auslegung von Energiemaschinen durch Einsatz von Hochrate-Laserstrukturierungstechnologien TP1: Hochrate-Lasergenerierung von Riblet-Strukturen

Laufzeit: 2016 - 2019
Förderung: BMBF
Projektpartner:
  • Jade Hochschule Wilhelmshaven
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
Webseite: www.laser.hs-mittweida.de/institut/projekte/ostralas.html

 

Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas)

Laufzeit: 2015 - 2019
Förderung: SMWK / EU (ESF Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
  • Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn
  • Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Webseite: www.laser.hs-mittweida.de/institut/projekte/ultralas.html

 

Untersuchungen zur Lederschwächung mittels UV-Laserstrahlung

Laufzeit: 2015 - 2016
Förderung: Industrie
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Großflächige Ultrakurzpuls Laser Mikro/Nano Strukturierung (GROminaS)

Laufzeit: 2014 - 2017
Förderung: BMBF (FHProfUnt)
Projektpartner:
  • Sitec Industrietechnologie GmbH Chemnitz
  • Siemens AG
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. U. Löschner

 

Excellenzcluster Lasertechnik - Laser-Hochrateverfahren zur Oberflächenmodifizierung (LaHoModi)

Laufzeit: 2013 - 2014
Förderung: SMWK
Projektpartner:
  • Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
  • Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
  • Prof. Dr. rer. nat. B. Steiger
  • Prof. Dr. rer. nat. A. Fischer
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Rapid Micro / Hochrate-Laserbearbeitung

Laufzeit: 2012 - 2016
Förderung: BMBF (IP Transfer, Stiftungsprofessur)
Projektpartner:
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
  • Sitec Industrietechnologie Chemnitz
  • LASERVORM GmbH Altmittweida
  • IMM Holding GmbH Mittweida
  • Acsys Lasertechnik GmbH Mittweida
  • LIM laserinstitut Mittelsachsen GmbH Mittweida
  • Fiberware GmbH Mittweida
  • MicroCeram GmbH Meißen
  • VW AG Wolfsburg
  • EOS GmbH Krailing
  • ThyssenKrupp Electrical Steel GmbH Gelsenkirchen
  • KSG Leiterplatten GmbH Gornsdorf
  • KOKI TECHNIK Transmission Systems GmbH Niederwürschnitz
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. U. Löschner

 

Gestaltung und Ermittlung charakterisierender Kennwerte von reibschlussoptimierten Oberflächen (GECKO), TP 5: Reibwerterhöhende Laserstrukturierung

Laufzeit: 2011 - 2014
Förderung: AiF / DFG - Gemeinschaftsvorhaben (CLUSTER)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • TU Magdeburg
  • Fraunhofer IWS Dresden
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Einsatz der Lasermikrostrukturierung für die Erzeugung von diffraktiven und refraktiven optischen Bauelementen (LAMIDIRE)

Laufzeit: 2011 - 2014
Förderung: BMBF (Programm VIP)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel, Prof. Dr. rer. nat. B. Steiger

 

Excellenzcluster Lasertechnik - Entwicklung neuer Lasertechnologien

Laufzeit: 2011 - 2012
Förderung: SMWK
Projektpartner:
  • Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
  • Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. B. Steiger

 

Erzeugung und Untersuchung spintronischer Schichtsysteme - Spintronik, TP 2: Laser-Mikrostrukturierung und -Modifizierung nanoskaliger Schichtsysteme

Laufzeit: 2010 - 2013
Förderung: SAB / EU (Verbesserung der Forschungsinfrastruktur und Forschungsvorhaben mit jeweils anwendungsnaher Ausrichtung)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • Fraunhofer ENAS Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration (nanett); TP: Nanoskalige Materialsysteme - Laserstrukturierung

Laufzeit: 2009 - 2014
Förderung: BMBF (Spitzenforschung in den Neuen Ländern)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • Fraunhofer ENAS Chemnitz
  • Leibnitz Institut IWF Dresden
  • Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Mikrobearbeitung von temperaturempfindlichen Bauteilen mit Ultrakurzpuls-Lasern (Mikro-UKP)

Laufzeit: 2009 - 2012
Förderung: BMBF (FHprofUnt)
Projektpartner:
  • FH Münster, Laserzentrum
  • Acsys GmbH Mittweida
  • Roth&Rau AG Hohenstein-Ernstthal
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. B. Steiger

 

Laserpulsabscheidung von Schichten und Lasermikrostrukturierung von Festkörpermaterialien (LAMIS)

Laufzeit: 2009 - 2012
Förderung: SMWK / EU (ESF Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • Professur Biotechnologie
  • Professur Maschinenbau
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Entwicklung hochinnovativer Technologien und Verfahren zur 3D Mikrostrukturierung von Festkörpermaterialien mit großer Energiebandlücke durch Fluor- und Femtosekundenlaserstrahlung (3D Mikro)

Laufzeit: 2007 - 2010
Förderung: BMBF (AiF Programm FHprofUnt)
Projektpartner:
  • 3D Micromac AG Chemnitz
  • TU Chemnitz - Zentrum für Mikrotechnologien
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Rapid Microtooling mit laserbasierten Verfahren

Laufzeit: 2006 - 2011
Förderung: BMBF (Innoprofile, Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
  • IVS Solutions AG Chemnitz
  • LASERVORM GmbH Altmittweida
  • Roth & Rau AG Hohenstein-Ernstthal
  • Acsys GmbH Mittweida
  • Jenoptik L.O.S. GmbH Jena
  • MicroCeram GmbH Meißen
  • DMOS GmbH Dresden
  • LaserSign Mittweida
  • Laserinstitut Mittelsachsen e.V. Mittweida
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner, Dipl.-Phys. R. Ebert

 

Plasmatexturierte Oberflächen für die kristalline Solarzellentechnologie (Platon)

Laufzeit: 2004 - 2006
Förderung: BMU
Projektpartner:
  • Roth & Rau AG, Wüstenbrand/Hohenstein-Ernstthal
  • Deutsche Cell AG, Freiberg
  • Fraunhofer Institut für Solartechnik, Freiburg
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Entwicklung von Technologien zur Fluorlasermikrobearbeitung (Fluortech)

Laufzeit: 2004 - 2005
Förderung: BMBF (Innoregio Innovationsregion Mittelsachsen „Innosachs“)
Projektpartner:
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Technologieentwicklung mittels Femtosekundenlaser

Laufzeit: 2003 - 2004
Förderung: BMBF (Innoregio Innovationsregion Mittelsachsen „Innosachs“)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Entwicklung von Technologien und Anlagen zur Lasermikrobearbeitung

Laufzeit: 2001 - 2003
Förderung: BMBF (Innoregio Innovationsregion Mittelsachsen „Innosachs“)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

3D Lasermikrostrukturierung

Laufzeit: 1998 - 2001
Förderung: SMWA (Verbundprojektförderung)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz, ZfM (Prof. Dr. rer. nat. habil. Geßner)
  • Dr.Teschauer & Petsch AG Chemnitz
  • ElCoSoft GmbH Chemnitz / IVS GmbH Chemnitz
  • GPP GmbH Chemnitz
  • Lernstatt GmbH Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
D. Metzner, M. Olbrich, P. Lickschat, A. Horn, S. Weißmantel:
X-ray generation by laser ablation using MHz to GHz pulse bursts,
In: Journal of Laser Applications 33 (2021), Nr. 3, S. 032014

P. Lickschat, D. Metzner, S. Weißmantel:
Burst mode ablation of stainless steel with tunable ultrashort laser pulses,
In: Journal of Laser Applications 33 (2021), Nr. 2, S. 022005

D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
Optimization of the ablation process using ultrashort pulsed laser radiation in different burst modes,
In: Journal of Laser Applications 33 (2021), Nr. 1, S. 012057

D. Metzner, P. Lickschat, T. Knebel, R. Menzel, C. Kreisel, S. Weißmantel:
Duale Oberflächenbearbeitung mittels ultrakurzer Pulse im Burst Modus,
In: Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, 12. Jenaer Lasertagung, DVS-Berichte Band 367, Düsseldorf: DVS Media, 2021, ISBN: 978-3-96144-132-7, S. 260

A. Kratsch, S. Weißmantel:
Laser Beam Shaping of real Beams using a Spatial Light Modulator and spatial filtering in conjunction with a Closed Loop,
In: Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, 12. Jenaer Lasertagung, DVS-Berichte Band 367, Düsseldorf: DVS Media, 2021, ISBN: 978-3-96144-132-7, S. 248

A. Horn, T. Pflug, P. Lungwitz, M. Olbrich:
Ultrakurzpuls Lasermesstechnik in der Lasermikromaterialbearbeitung,
In: Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, 12. Jenaer Lasertagung, DVS-Berichte Band 367, Düsseldorf: DVS Media, 2021, ISBN: 978-3-96144-132-7, S. 247

C. Kreisel, T. Knebel, R. Menzel, D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
Anwendung Ultrakurzgepulster Laserstrahlung im Werkzeug- und Formenbau,
In: Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, 12. Jenaer Lasertagung, DVS-Berichte Band 367, Düsseldorf: DVS Media, 2021, ISBN: 978-3-96144-132-7, S. 129-134

S. Kudryashov, P. Danilov, L. Schneider, J. Schille, U. Loeschner, A. Nastulyavichus, N. Smirnov, A. Kuchmizhak, O. Vitrik:
Polygon-facilitated generation of colloidal gold nanoparticles by multi-MHz ultrashort-pulse laser trains: key optical factors,
In: Laser Physics Letters 18 (2021), Nr. 1, S. 016101

D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
Surface treatment on cobalt and titanium alloys using picosecond laser pulses in burst mode,
In: Applied Physics A 127 (2021), Nr. 1, S. 8

S. Büttner, M. Pfeifer, S. Weißmantel:
Mikrooptiken für die Datenübertragung,
In: Lasermagazin 4/2020, S. 30-31

D. Metzner, M. Olbrich, P. Lickschat, A. Horn, S. Weißmantel:
Experimental and Theoretical Determination of the Effective Penetration Depth of Ultrafast Laser Radiation in Stainless Steel,
In: Lasers in Manufacturing and Materials Processing 7 (2020), Nr. 4, S. 478-495

D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
High-quality surface treatment using GHz burst mode with tunable ultrashort pulses,
In: Applied Surface Science 531 (2020), S. 147270

K.L. Wlodarczyk, J. Schille, L. Naumann, A.A. Lopes, I. Bitharas, P. Bidare, S.D. Dondieu, P. Blair, U. Loeschner, A.J. Moore, M.M. Maroto-Valer, D.P. Hand:
Investigation of an interlaced laser beam scanning method for ultrashort pulse laser micromachining applications,
In: Journal of Materials Processing Technology 285 (2020), S. 116807

A. Dorner-Reisel, A. Engel, S. Svoboda, C. Schürer, S. Weißmantel:
Laser structuring of hydrogenated DLC scaffolds: Raman spectroscopy and nanotribology,
In: Diamond and Related Materials 108 (2020), S. 107787

A. Dorner-Reisel, A. Engel, S. Svoboda, C. Schürer, S. Weißmantel:
Tribological behaviour of femtosecond laser micro-patterned hydrogenated DLC in dry and hyaluronic gel lubricated conditions,
In: Surface and Coatings Technology 399 (2020), S. 126082

Y. Tang, W. Perrie, J. Schille, U. Loeschner, Q. Li, D. Liu, S.P. Edwardson, A. Forbes, G. Dearden:
High-quality vector vortex arrays by holographic and geometric phase control,
In: Journal of Physics D: Applied Physics 53 (2020), Nr. 46, S. 465101

P. Lickschat, D. Metzner, S. Weißmantel:
Fundamental investigations of ultrashort pulsed laser ablation on stainless steel and cemented tungsten carbide,
In: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 109 (2020), Nr. 3-4, S. 1167-1175

S. Mauersberger, J. Schille, K. Kujawa, L. Schneider, C. Million, K. Hartung, K. Oehlert, U. Loeschner:
High-Precision Surface Profiling Using Multi-Hundred Watts Ultrashort Pulse Lasers and Ultrafast Polygon-Mirror Based Scanner,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 15 (2020), Nr. 1

M. Olbrich, T. Pflug, C. Wüstefeld, M. Motylenko, S. Sandfeld, D. Rafaja, A. Horn:
Hydrodynamic modeling and time-resolved imaging reflectometry of the ultrafast laser-induced ablation of a thin gold film,
In: Optics and Lasers in Engineering 129 (2020)

J. Mur, J. Petelin, J. Schille, U. Loeschner, R. Petkovšek:
Ultra-fast laser-based surface engineering of conductive thin films,
In: Applied Surface Science 509 (2020), S. 144911

J. Schille, L. Schneider, S. Mauersberger, S. Szokup, S. Höhn, J. Pötschke, F. Reiß, E. Leidich, U. Löschner:
High-Rate Laser Surface Texturing for Advanced Tribological Functionality,
In: Lubricants 8 (2020), Nr. 3

S. Buettner, M. Pfeifer, S. Weissmantel:
Fabrication of Micro Spiral Phase Plates in Fused Silica using F2-Laser Microstructuring,
In: Proceedings of 8th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology (2020), S. 114-121

A. Sitar, M. Može, M. Crivellari, J. Schille, I. Golobic:
Nucleate pool boiling heat transfer on etched and laser structured silicon surfaces,
In: International Journal of Heat and Mass Transfer 147 (2020), S. 118956

D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
Influence of heat accumulation during laser micromachining of CoCrMo alloy with ultrashort pulses in burst mode,
In: Applied Physics A 126 (2020), Nr. 2, S. 84

L. Pabst, R. Ebert, H. Exner:
Selective ablation of ultrathin aluminium film on silicon substrate using ultrashort pulse laser radiation,
In: Ultrafast Optics 2019: Abstract Book, Proceedings of SPIE 11370 (2019)

T. Pflug, M. Olbrich, A. Horn:
Dynamik des komplexen Brechungsindexes von Gold nach Anregung mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 177-180

L. Pabst, R. Ebert, H. Exner:
Comparison between film and rear side ablation of thin nickel chromium alloy films on transparent substrate using femtosecond laser radiation,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 170-176

P. Lickschat, J. Schille, S. Weißmantel:
Ablation von Metallen und Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen: Einfluss der Pulsdauer und der Wellenlänge,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 151-154

D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
Mikroporen auf Implantat-Material mit ultrakurzen Pulsen im Burst Modus,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 118-124

U. Löschner, S. Mauersberger, A. Bock, K. Kujawa, K. Hartung, C. Million, K. Oehlert, J. Schille:
Herstellung strömungsoptimierter Oberflächentopografien mittels Hochrate-Laserverfahren,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 91-97

P. Lungwitz, T. Pflug, M. Olbrich, A. Horn:
Untersuchung der Anregungsmechanismen von PMMA mit ultrakurz gepulster mid-IR Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 62-65

M. Olbrich, T. Pflug, P. Lungwitz, A. Horn:
Modellierung und zeitaufgelöste Messung des Abtrages von Goldschichten unterschiedlicher Schichtdicke durch ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 45-49

S. Büttner, M. Pfeifer, S. Weißmantel:
Herstellung von Mikrozylinderlinsen und Mikrozylinderlinsenarrays in dielektrischen Materialien mittels Fluorlasermikrostrukturierung,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 31-37

T. Viertel, L. Pabst, R. Ebert, H. Exner:
Selective rear-side ablation of aluminum thin layers with ultrashort-pulsed laser radiation,
In: Applied Physics A 125 (2019), Nr. 10, S. 739

S. Buettner, M. Pfeifer, S. Weissmantel:
Direct Laser Fabrication of Cylindrical Lenses in Wide Band Gap Materials,
In: EPJ Web of Conferences 215 (2019), S. 03001

D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
Laser micromachining of silicon and cemented tungsten carbide using picosecond laser pulses in burst mode: ablation mechanisms and heat accumulation,
In: Applied Physics A 125 (2019), Nr. 7, S. 462

D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
Investigations of qualitative aspects with burst mode ablation of silicon and cemented tungsten carbide,
In: Applied Physics A 125 (2019), Nr. 6, S. 411

S. Buettner, M. Pfeifer, S. Weissmantel:
Manufacturing of Cylindrical Micro Lenses and Micro Lens Arrays in Fused Silica and Borosilicate Glass using F2-Laser Microstructuring,
In: Proceedings of 7th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology (2019), S. 66-72

A. Kratsch, F. Ehrenberg, A. Engel, S. Weißmantel:
Using a camera feedback loop for phase retrieval in an iterative Fourier transform algorithm to calculate beam splitter phase gratings for parallel laser microstructuring,
In: Proceedings of SPIE 10519 (2018)

T. Pflug, M. Olbrich, R. Roesch, U.S. Schubert, H. Hoppe, A. Horn:
Investigations on the modification of PMMA by ultrafast laser radiation from the UV to the mid-IR spectral range,
In: Optics and Lasers in Engineering 111 (2018), S. 130-134

L. Pabst, F. Ullmann, R. Ebert, H. Exner:
Selective rear side ablation of thin nickel–chromium-alloy films using ultrashort laser pulses,
In: Applied Physics A 124 (2018), Nr. 3, S. 241

T. Viertel, L. Pabst, M. Olbrich, R. Ebert, A. Horn, H. Exner:
Generation of nano-voids inside polylactide using femtosecond laser radiation,
In: Applied Physics A 123 (2017), Nr. 12, S. 789

M. Müller, R. Ebert, H. Exner:
High precision 3D micro processing of Molybdenum by ultrashort pulse laser ablation,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 137-140

T. Viertel, L. Pabst, R. Ebert, H. Exner:
Selektive Laserablation von dünnen Aluminiumschichten auf Quarzglas mit Ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 131-136

M. Pfeifer, S. Büttner, R. Zhang, M. Serbay, S. Weißmantel:
F2-Lasermikrostrukturierung von Mikro-Fresnel-Linsen,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 127-130

M. Pfeiffer, F. Knebel, S. Weißmantel:
Grundlagenuntersuchungen an dielektrischen Materialien mittels ultrakurzer Laserpulse,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 123-126

T. Pflug, M. Olbrich, M. Frank, A. Horn:
Untersuchung der dynamischen Prozesse beim Erwärmen und Abtragen dünner Goldschichten nach Anregung mit ultrakurz gepulster Strahlung,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 119-122

M. Olbrich, M. Frank, T. Pflug, A. Horn:
Vergleich verschiedener physikalischer Modelle zur Beschreibung der polarisationsabhängigen Reflektometrie und Ellipsometrie,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 111-114

D. Metzner, P. Lickschat, S. Weißmantel:
Vergleichende Untersuchungen zum Abtrag von Stahl und Eisen mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 104-107

L. Schneider, J. Schille, S. Mauersberger, K. Kujawa, U. Löschner:
Großflächige und schnelle Funktionalisierung von technischen Oberflächen mittels Ultrakurzpuls-Laserbearbeitung,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 37-42

E. Punzel, M. Olbrich, T. Pflug, A. Horn:
Untersuchungen zu Resonant-Infraroter Laserablation (RIA) an PMMA und BK7 Glas durch ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 18-21

J. Schille, L. Schneider, A. Streek, S. Mauersberger, U. Loeschner:
Study on high-average power ultrashort pulse laser processing of AISI 304 stainless steel,
In: Proceedings of 39th International MATADOR Conference on Advanced Manufacturing (2017)

J. Schille, L. Schneider, L. Hartwig, U. Loeschner:
High Rate Laser Processing of Metals Using High Average Power Ultrashort Pulse Lasers,
In: Lasers in Engineering 36 (2017), Nr. 1-3, S. 31-50

P. Lickschat, S. Weißmantel:
Ultrakurzpulslaserbeareitung von Stahl im Burst-Modus,
In: Scientific Reports, 18. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz (NWK) 1/2017, S. 245-250

P. Lickschat, A. Demba, S. Weissmantel:
Ablation of steel using picosecond laser pulses in burst mode,
In: Applied Physics A 123 (2017), Nr. 2, S. 137

F. Ullmann, L. Hartwig, U. Löschner, A. Thurm, T. Werner:
Hochrate-Oberflächenbearbeitung mit Hochleistungsfaserlaserstrahlung hoher Brillanz,
In: Lasermaterialbearbeitung in der digitalen Produktion, DVS-Berichte Band 328, Düsseldorf: DVS Media, 2016, ISBN: 978-3-945023-66-2, S. 302-311

J. Schille, L. Schneider, A. Streek, S. Klötzer, U. Löschner:
Hochrate-Laserbearbeitung mit Hochleistungs-Ultrakurzpulslaser und Polygonspiegelscanner,
In: Lasermaterialbearbeitung in der digitalen Produktion, DVS-Berichte Band 328, Düsseldorf: DVS Media, 2016, ISBN: 978-3-945023-66-2, S. 138-147

L. Pabst, R. Ebert, H. Exner:
Selective Ablation of thin Nickel-chromium-alloy Films Using Ultrashort Pulsed Laser,
In: Physics Procedia 83 (2016), S. 104-113

M. Olbrich, E. Punzel, P. Lickschat, S. Weißmantel, A. Horn:
Investigation on the Ablation of thin Metal Films with Femtosecond to Picosecond-pulsed Laser Radiation,
In: Physics Procedia 83 (2016), S. 93-103

J. Schille, L. Schneider, S. Kraft, L. Hartwig, U. Loeschner:
Experimental study on double-pulse laser ablation of steel upon multiple parallel-polarized ultrashort-pulse irradiations,
In: Applied Physics A 122 (2016), Nr. 7, S. 644

M. Olbrich, E. Punzel, R. Roesch, R. Oettking, B. Muhsin, H. Hoppe, A. Horn:
Case study on the ultrafast laser ablation of thin aluminum films: dependence on laser parameters and film thickness,
In: Applied Physics A 122 (2016), Nr. 3, S. 215

J. Schille, L. Schneider, A. Streek, S. Kloetzer, U. Loeschner:
High-throughput machining using high average power ultrashort pulse lasers and ultrafast polygon scanner,
In: Proceedings of SPIE 9736 (2016)

J. Schille, F. Ullmann, L. Schneider, M. Graefensteiner, S. Schiefer, M. Gerlach, E. Leidich, H. Exner:
Experimental Study on Laser Surface Texturing for Friction Coefficient Enhancement,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 10 (2015), Nr. 3, S. 245-253

M.J. Almeida, P. Matthes, O. Ueberschär, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, M. Albrecht, S.E. Schulz:
Optimum Laser Exposure for Setting Exchange Bias in Spin Valve Sensors,
In: Physics Procedia 75 (2015), S. 1192-1197

S. Weinhold, R. Ebert, M. Kutzer, H. Exner:
Strukturierung von Zellverbindern durch Schmelzumlagerung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 209-212

S. Kraft, J. Schille, L. Hartwig, L. Schneider, U. Löschner:
Aufbau und Untersuchung einer Verzögerungsstrecke für die Doppelpuls-Laserablation mit ultrakurzen Pulsen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 201-205

P. Lickschat, J. Schille, M. Olbrich, L. Schneider, A. Horn, U. Löschner, S. Weißmantel:
Einzelpulsabtrag von Metallschichten mit ultrakurzen Laserpulsen unterschiedlicher Pulsdauer,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 196-200

P. Lickschat, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von Stahl mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 192-195

M. Pfeifer, S. Büttner, S. Weißmantel:
CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 187-191

M. Müller, R. Ebert, J. Schille, H. Exner:
Investigation of Laser Micro Structuring of Spintronic Stack Layers Using a Highly-Repetitive Femtosecond Laser,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 179-182

M. Olbrich, P. Lickschat, L. Schneider, J. Schille, U. Löschner, S. Weißmantel, A. Horn:
Simulation der Temperaturverteilung in Gold und Platin infolge der Bestrahlung mit ultrakurzen Pulsen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 175-178

M. Pfeiffer, A. Engel, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 167-170

L. Pabst, W. Perrie, G. Dearden, H. Exner:
Femtosecond Selective Ablation of Thin ITO Films on Glas Substrate,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 163-166

I. Berthold, M. Olbrich, R. Ebert, H. Exner:
Untersuchungen zur Lasermikrostrukturierung unter Nutzung unkonventioneller Strahlformung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 136-140

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Lasermikrostrukturierung ausgewählter Materialien mittels sehr kurzer Laserpulse <35 fs im Vergleich zu konventioneller Ultrakurzpulslaser-Mikrostrukturierung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 132-135

F. Ullmann, L. Schneider, J. Schille, M. Gräfensteiner, E. Leidich, H. Exner:
Reibwerterhöhende Funktionalisierung von Oberflächen mittels gepulster Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 118-123

F. Jahn, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von tetraedrisch amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) mittels 248 nm KrF-Excimerlaser,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 114-117

A. Kratsch, F. Ehrenberg, S. Weißmantel:
Femtosekundenlasermikrostrukturierung mittels Phasenmaskenprojektion unter Verwendung eines Spatial Light Modulators,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 100-105

A. Streek, S. Klötzer:
Polygonscantechnik für die Lasermikrobearbeitung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 82-85

U. Löschner, J. Schille, F. Ullmann, A. Streek, L. Hartwig, S. Klötzer:
Hochrate-Lasermikrobearbeitung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 70-76

J. Schille, L. Schneider, U. Löschner:
Lasermikrobearbeitung mit hochrepetierenden Ultrakurzpuls-Lasersystemen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 12-16

M.J. Almeida, T. Götze, O. Ueberschär, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, S.E. Schulz:
Monolithic Integration of 2D Spin Valve Magnetic Field Sensors for Angular Sensing,
In: Materials Today: Proceedings 2 (2015), Nr. 8, S. 4206-4211

M. Pfeiffer, A. Engel, G. Reisse, S. Weissmantel:
Microstructuring of fused silica using femtosecond laser pulses of various wavelengths,
In: Applied Physics A 121 (2015), Nr. 2, S. 689-693

O. Ueberschär, M.J. Almeida, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, S.E. Schulz:
Monolithic integration of focused 2D GMR spin valve magnetic field sensor for high-sensitivity (compass) applications (Presentation Recording),
In: Proceedings of SPIE 9551 (2015)

J. Schille, L. Schneider, L. Hartwig, U. Loeschner:
High throughput processing with femtosecond lasers,
In: The Laser User Magazine 077/2015

R. Ebert, M. Müller, H. Exner:
Laserstrahlmikrostrukturierung für spintronische Magnetfeldsensoren,
In: Lasermagazin 4/2015, S. 36-37

J. Schille, L. Schneider, U. Löschner:
Process optimization in high-average-power ultrashort pulse laser microfabrication: how laser process parameters influence efficiency, throughput and quality,
In: Applied Physics A 120 (2015), Nr. 3, S. 847-855

M. Pfeifer, S. Büttner, S. Weißmantel:
CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas,
In: Lasermagazin 2/2015, S. 28-29

J. Schille, L. Schneider, L. Hartwig, U. Löschner:
High-rate laser processing of metals using high-average power ultrashort pulse lasers,
In: Proceedings of 38th International MATADOR Conference on Advanced Manufacturing (2015), S. 88-96

J. Schille, L. Schneider, P. Lickschat, U. Löschner, R. Ebert, H. Exner:
High-pulse repetition frequency ultrashort pulse laser processing of copper,
In: Journal of Laser Application 27 (2015), Nr. S28007

O. Ueberschär, M.J. Almeida, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, R. Rückriem, J. Schuster, H. Exner, S.E. Schulz:
Optimized Monolithic 2-D Spin-Valve Sensor for High-Sensitivity Compass Applications,
In: IEEE Transactions on Magnetics 51 (2015), Nr. 1, S. 1-4

M. Pfeifer, F. Jahn, A. Kratsch, B. Steiger, S. Weißmantel:
F2-Lasermikrostrukturierung von diffraktiven Phasenelementen,
In: Innovative Fertigung durch Lasersysteme neuester Generation, DVS-Berichte Band 307, Düsseldorf: DVS Media, 2014, ISBN: 978-3-945023-04-4, S. 191-199

P. Lickschat, J. Schille, G. Reiße, S. Weißmantel:
Ultrakurzpulslaser-Mikrobearbeitung von Metallen - Verwendung von Pikosekunden-Laserpulsen für die Bearbeitung von Stahl,
In: Innovative Fertigung durch Lasersysteme neuester Generation, DVS-Berichte Band 307, Düsseldorf: DVS Media, 2014, ISBN: 978-3-945023-04-4, S. 135-143

J. Schille, L. Schneider, P. Lickschat, U. Löschner, R. Ebert, H. Exner:
High-PRF Ultrashort Pulse Laser Processing of Copper,
In: Proceedings of 33th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2014)

I. Berthold, U. Löschner, R. Ebert, H. Exner:
Selektive Neuausrichtung des Exchange Bias Feldes mittels Laser-Verfahren,
In: Tagungsband der 12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik (2014)

I. Berthold, U. Löschner, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Exchange Bias Realignment Using a Laser-based Direct-write Technique,
In: Physics Procedia 56 (2014), S. 1136-1142

T. Knebel, A. Streek, H. Exner:
Comparison of High Rate Laser Ablation and Resulting Structures Using Continuous and Pulsed Single Mode Fiber Lasers,
In: Physics Procedia 56 (2014), S. 19-28

J. Schille, F. Ullmann, L. Schneider, M. Graefensteiner, S. Schiefer, M. Gerlach, E. Leidich, H. Exner:
Experimental Study on Laser Surface Texturing for Friction Coefficient Enhancement,
presented at: The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Vilnius, Lithuania (Oral Presentation)

P. Lickschat, J. Schille, G. Reiße, S. Weißmantel:
Multi-Burst Mode Picosecond Laser Processing of Steel,
presented at: The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Vilnius, Lithuania (Poster)

J. Schille, L. Schneider, M. Müller, U. Löschner, N. Goddard, P. Scully, H. Exner:
Highspeed Laser Micro Processing using Ultrashort Laser Pulses,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 9 (2014), Nr. 2, S. 161-168

I. Berthold, M. Mueller, S. Klötzer, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spin-valve layer stacks using laser radiation,
In: Applied Surface Science 302 (2014), S. 159-162

I. Berthold, M. Müller, R. Ebert, J. Schille, U. Löschner, H. Exner, P. Matthes, M. Albrecht:
Selective realignment of the exchange biased magnetization direction in spintronic layer stacks using continuous and pulsed laser radiation,
In: Proceedings of SPIE 8967 (2014), S. 53

M. Pfeifer, F. Jahn, A. Kratsch, B. Steiger, S. Weissmantel:
F2-Laser Microfabrication of Diffractive Phase Elements,
In: Proceedings of 2nd International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology (2014), S. 91-96

J. Schille:
Investigation of micromachining using a high repetition rate femtosecond fibre laser,
Manchester, UK: The University of Manchester, Dissertation, 2013

J. Schille, U. Löschner, R. Ebert:
Hochrate - Lasermikrostrukturierung von Edelstahl mit fs - Laserstrahlung,
In: Lasermagazin 5/2013, S. 30-31

J. Schille, L. Schneider, M. Mueller, U. Loeschner, N. Goddard, P. Scully, H. Exner:
Highspeed Laser Micro Processing using Ultrashort Laser Pulses,
In: Proceedings of 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (2013)

M. Müller, R. Ebert, J. Schille, H. Exner:
Femtosecond laser ablation of a thin metal stack layer,
presented at: E-MRS 2013 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Poster)

M. Pfeifer, S. Weissmantel, G. Reisse:
Direct laser fabrication of blaze gratings in fused silica,
In: Applied Physics A 112 (2013), Nr. 1, S. 61-64

I. Berthold, M. Mueller, S. Klötzer, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spintronic layer stacks using laser radiation,
presented at: E-MRS 2013 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Oral Presentation)

I. Berthold, M. Müller, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of micro structuring and magnetizing of spintronic layer stacks using laser irradiation,
In: Proceedings of Smart Systems Integration 109/2013

R. Ebert, L. Hartwig, U. Löschner, H. Exner:
Hochrate-Laserforschung am Laserinstitut der Hochschule Mittweida,
In: Lasermagazin 4/2012

J. Schille, R. Ebert, U. Löschner, H. Exner:
Wechselwirkungsmechanismen beim Einsatz eines hochrepetierenden Ultrakurzpulslasers zur 3D Mikrostrukturierung von Metallen,
In: Lasermaterialbearbeitung: Innovationen und Trends, DVS-Berichte Band 288, Düsseldorf: DVS Media, 2012, ISBN: 978-3-87155-595-4, S. 117-119

U. Löschner, L. Hartwig, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Highrate laser micro machining - capabilities and applications,
In: Proceedings of International Laser and Coating Symposium (2012)

M. Pfeifer, F. Jahn, S. Weißmantel, B. Steiger:
Fluorlasermikrostrukturierung diffraktiver optischer Elemente in Quarzglas,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 103-106

A. Engel, M. Pfeiffer, R. Böttcher, S. Weißmantel:
3D-Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedelicher Wellenlängen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 99-102

I. Berthold, M. Müller, S. Klötzer, R. Ebert, H. Exner:
Untersuchungen zur selektiven Magnetisierung von spintronischen Schichtsystemen mittels Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 70-73

P. Lickschat, J. Schille, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von Stahl mit Piko- und Femtosekundenlaserpulsen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 54-57

U. Löschner, L. Hartwig, F. Ullmann, R. Ebert, H. Exner:
Hochrate-Laserbearbeitung - Potential und Anwendungsmöglichkeiten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 18-24

P. Lickschat, J. Schille, R. Ebert, H. Exner, S. Weissmantel:
Comparative Study on Microstructuring of Steel Using Pico- and Femtosecond Laser Pulses,
In: Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2012), S. 1261-1268

M. Müller, R. Ebert, J. Schille, H. Exner:
Investigation of laser micro structuring of spintronic stack layers using a highly - repetitive femtosecond laser,
presented at: E-MRS 2012 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Poster)

H. Exner, L. Hartwig, R. Ebert, S. Klötzer, A. Streek, J. Schille, U. Löschner:
High Speed Laser Micro Processing Using High Brilliance Continuous Wave Laser Radiation,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 7 (2012), Nr. 1

M. Pfeifer, S. Weißmantel, G. Reiße:
Fluorlasermikrostrukturierung von Blaze-Gittern in Quarzglas,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011, S. 62-64

J. Schille, L. Schneider, U. Loeschner, R. Ebert, P. Scully, N. Goddard, B. Steiger, H. Exner:
Micro processing of metals using a high repetition rate femto second laser: from laser process parameter study to machining examples,
In: Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2011)

M. Pfeiffer, A. Engel, S. Weißmantel, S. Scholze, G. Reisse:
Microstructuring of steel and hard metal using Femtosecond Laser Pulses,
In: Physics Procedia 12/2011, S. 9-11

A. Engel, M. Pfeiffer, S. Weißmantel, P. Lickschat:
Mikrostrukturierung von Metallen und Hartstoffen mit Femtosekundenlaserstrahlung,
In: New Journal of Physics 4/2011, S. 20-21

A. Engel, M. Pfeiffer, S. Weißmantel, F. Hähnel:
Lasermikrostrukturierung mit Femtosekunden- und Fluorlaserstrahlung,
In: New Journal of Physics 4/2011, S. 18

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Effect of microstructured and ta-C coated glass-surfaces on cell growth,
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 35-39

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Tribologische Eigenschaften von mikrostrukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C),
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 23-28

R. Ebert, L. Hartwig, S. Klötzer, A. Streek, U. Löschner, J. Schille, F. Ullmann, H. Exner:
Hochrate-Laserbearbeitung mit schnellen und ultraschnellen Scannern,
In: Lasermagazin 1/2011, S. 34-35

M. Pfeiffer:
Lasermikrostrukturierung von wide-bandgap-Materialien,
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Fast, precise, and reliable 3D laser microstructuring,
In: SPIE Newsroom (2010)

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presented at: 72. Frühjahrstagung DPG, Darmstadt, 2008, Symposium Lasermaterialbearbeitung, Abtragen und Strahlführung (Hauptvortrag SYLM 3.3)

A. Horn, I. Mingareev, J. Gottmann, A. Werth, U. Brenk:
Dynamical detection of optical phase changes during micro-welding of glass with ultra-short laser radiation,
In: Measurement Science and Technology 19 (2008), Nr. 1, S. 015302

S. Weißmantel, G. Reiße, A. Engel, F. Hähnel, R. Böttcher, B. Keiper:
Femtosekunden- und Fluorlasermikrostrukturierung von Oberflächen und dünnen diamantartigen Kohlenstoffschichten,
In: R. Suchentrunk (Hrsg.): Jahrbuch Oberflächentechnik 2008, Band 64, Bad Saulgau: Eugen G. Leuze Verlag, 2008, ISBN: 978-3-87480-245-1, S. 359-370

G. Reiße, S. Weißmantel, A. Engel, F. Haehnel:
Microstructuring of glasses and metals using fluorine and femtosecond laser pulses,
In: Proceedings of Conference on Laser Ablation (2007)

A. Horn, C. Kaiser, R. Ritschel, T. Mans, P. Russbüldt, H.D. Hoffmann, R. Poprawe:
Si-Ka radiation generated by the interaction of femtosecond laser radiation with silicon,
In: Jourmal of Physics: Conference Series 59 (2007), S. 159-163

R. Ebert, U. Löschner, A. Streek, J. Schille, T. Süß, L. Hartwig, S. Klötzer, H. Exner:
Rapid Microtooling mit laserbasierten Verfahren,
In: Lasermagazin 2/2007, S. 26-27

G. Reiße, S. Weißmantel, F. Hähnel, J. Hänel, B. Keiper:
Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Fluorlaser,
In: Mikroproduktion 3/2007, S. 44

A. Horn I. Mingareev, I. Miyamoto:
Ultra-fast diagnostics of laser-induced melting of matter,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 1 (2006), Nr. 3, S. 264-268

J. Schille, R. Ebert, P. Regenfuß, H. Exner:
Einfluss der Pulslänge bei der abtragenden Laserbearbeitung von Metallen,
In: Tagungsband der 8. Nachwuchswissenschafter-Konferenz, Jena (2007), S. 71-76

F. Hähnel, S. Weißmantel, G. Reiße, R. Böttcher, U. Löschner:
Mikrostrukturierung mittels Fluorlaser und KrF-Excimerlaser,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 5/2006, S. 31-35

I. Mingareev, A. Horn, E.W. Kreutz:
Observation of melt ejection in metals up to 1 µs after femtosecond laser irradiation by a novel pump-probe photography setup,
In: Proceedings of SPIE 6261 (2006)

G. Reiße, S. Weißmantel, U. Löschner, F. Hähnel:
VUV–Laserablation und Strukturierung bei 157 nm Wellenlänge,
In: Lasermagazin 2/2006, S. 26

K. Zimmer, R. Böhme, S. Pissadakis, L. Hartwig, G. Reiße, B. Rauschenbach:
Backside etching of fused silica with Nd:YAG laser,
In: Applied Surface Science 253 (2006), S. 2796-2800

G. Reiße, S. Weißmantel, U. Löschner, F. Hähnel, J. Hänel, T. Petsch, S. Albert, B. Keiper:
Ein neuartiges System zur Lasermikrobearbeitung bei der Wellenlänge 157nm,
In: Lasermagazin 6/2005, S. 28-29

G. Ligbado, A. Horn, E.W. Kreutz, M. Krauß, N. Siedow, H. Hensel:
Coloured marking inside glass by laser radiation,
In: Proceedings of SPIE 5989 (2005)

U. Löschner, A. Engel, S. Weissmantel, G. Reisse:
Microprocessing of various materials using femtosecond laser pulses,
In: Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2005), S. 598

J. Hänel, T. Petsch, S. Albert, B. Keiper, G. Reiße, S. Weißmantel, U. Löschner, F. Hähnel:
A novel system for micromachining using F2-lasers,
In: Proceedings of Conference on Laser Ablation (2005)

E.W. Kreutz, A. Horn, R. Poprawe:
Electron excitation in glasses followed by time- and space-measuring tools,
In: Applied Surface Science 248 (2005), S. 66-70

B. Keiper, T. Petsch, H. Exner:
Micro-Processing of Borosilicate Glass and Polymers,
In: D. Basting, G. Marowsky (eds.): Excimer Laser Technology, Berlin Heidelberg: Springer-Verlag, 2005, ISBN: 978-3-540-20056-7, S. 201-219

U. Löschner, F. Wange, S. Weißmantel, G. Reiße:
Mikrostrukturierung von Quarzglas mit Femtosekundenlaser,
In: Lasermagazin 1/2005, S. 15

E.W. Kreutz, A. Horn, R. Poprawe:
Electron excitation in glasses and sapphire followed by time- and space-measuring tools,
In: Proceedings of SPIE 5620 (2004), S. 239

R. Wagner, J. Gottmann, A. Horn, E.W. Kreutz:
Formation of subwavelength-laser-induced periodic surface structures by tightly focused femtosecond laser radiation,
In: Proceedings of SPIE 5662 (2004), S. 168

A. Horn, E.W. Kreutz, R. Poprawe:
Ultrafast time-resolved photography of femtosecond laser induced modifications in BK7 glass and fused silica,
In: Applied Physics A 79 (2004), Nr. 4, S. 923-925

A. Engel, F. Wange, B. Keiper, R. Ebert, H. Exner:
Mikro-Lasermaterialbearbeitung mit fs-Laserstrahlung,
In: Laser-Summerscool, IWS Dresden, Vorträge auf CD (2004)

L. Hartwig, P. Regenfuß, B. Keiper, R. Ebert, H. Exner:
Abtragende und generierende Verfahren zur Mikro-Lasermaterialbearbeitung,
In: Laser-Summerscool, IWS Dresden, Vorträge auf CD (2004)

A. Horn, E. W. Kreutz, R. Poprawe:
Time-resolved-photography and transient absorption spectroscopy of excited dielectrics by infrared ultrashort laser radiation,
In: Proceedings of the 1st Pacific International Conference on Applications of Lasers and Optics (2004), S. 1-4

K. Nomura, E. Ohmura, A. Horn, I. Miyamoto:
Theoretical analysis of second harmonic characteristics generated by KTiOPO4 crystal,
In: Proceedings of SPIE 5063 (2003), S. 514

B. Keiper, R. Ebert, F. Wange, U. Helbig, H. Exner:
Mikrostrukturierung mit ns- und fs-Pulsen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 1/2003, S. 19-23

B. Keiper, R. Ebert, H. Exner:
ArF-Laser-Mikrostrukturierung von PYREX-Glas,
In: Lasermagazin 4/2003, S. 22

A. Horn, H. Khajehnouri, E. W. Kreutz, R. Poprawe:
Ultrafast Pump and Probe Investigations on the Interaction of Femtosecond Laser Pulses with Glass,
In: Proceedings of SPIE 4948 (2003), S. 393-400

B. Keiper, L. Hartwig, R. Ebert, H. Exner:
3D Mikrostrukturierung mit Nd:YAG-Laser und Scanner,
In: Forschung aktuell, Forschungsbericht Hochschule Mittweida (2003), S. 160-161

B. Keiper, J. Dunger, R. Ebert, U. Löschner, H. Exner:
Lasermikrostrukturierung mit Scanner,
In: Forschung aktuell, Forschungsbericht Hochschule Mittweida (2003), S. 158-159

B. Keiper, R. Ebert, R. Böhme, H. Exner:
Microstructuring of Pyrex glass and polymers by excimer laser,
In: Proceedings of SPIE 5116 (2003), S. 20-27

R. Böhme, B. Keiper, K. Zimmer, R. Ebert, H. Exner:
3D-microstructuring of Pyrex glass for the manufacturing of hybrid microsystems by laser processing,
In: Tagungsband Sensor (2003), S. 491-496

B. Keiper, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Bearbeitung von Pyrexglas mittels CO2-Laserstrahlung,
In: Lasermagazin 6/2002, S. 22

A. Horn, H. Khajehnouri, E. W. Kreutz, R. Poprawe:
Time Resolved Optomechanical Investigations on the Interaction of Laser Radiation with Glass in the Femtosecond Regime,
In: Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics, LIA (Series) 94 (2002), S. 1577-1585

B. Keiper, L. Hartwig, R. Ebert, H. Exner:
3D Mikrostrukturierung mit Nd:YAG-Laser und Scanner,
In: Lasermagazin 5/2002, S. 19

B. Keiper, J. Dunger, R. Ebert, H. Exner:
Lasermikrostrukturierung mit Scanner,
In: Lasermagazin 1/2002, S. 17

E.W. Kreutz, R. Weichenhain, A. Horn:
Nd:YAG laser micromachining of SiC precision structures for MEMS,
In: Proceedings of SPIE 4407 (2001), S. 109

R. Ebert, B. Keiper, U. Löschner, J. Bachale, H. Exner:
Anwendungen der Lasermikrobearbeitung,
In: Lasermagazin 3/2001, S. 38

A. Horn, R. Weichenhain, E.W. Kreutz, R. Poprawe:
Dynamics of laser-induced cracking in glasses at a picosecond time scale,
In: Proceedings of SPIE 4184 (2001), S. 539-544

E.W. Kreutz, T. Berden, R. Weichenhain, A. Horn, M. Jacquorie:
Strukturieren mit Laserstrahlung,
In: Schweizer Verband für die Materialtechnik 1/2000, S. 4-8

U. Löschner, B. Keiper, H. Exner:
Mikrobearbeitung mit Excimerlaser,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 14/2000, S. 25-32

U. Löschner, H. Exner, R. Ebert, B. Keiper:
Abtragsverhalten von Al2O3-Keramik bei verschiedenen Strukturgrößen und -tiefen mit Excimerlasermaskenprojektion,
In: Lasermagazin 2/2000, S. 15

H. Exner, B. Keiper, P. Meja:
Microstructuring of materials by pulsed laser focusing and projection technique,
In: Proceedings of SPIE 3618 (1999)

B. Keiper, U. Hösel, M. John, H. Exner:
Laser microprocessing using TEA-CO2 or excimer lasers,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/1998, S. 83-90

B. Keiper, S. Weißmantel, G. Reiße, B. Steiger, J. Franke:
Optical Properties of Laser Ablated Amorphous Carbon Films,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida (1994)

B. Keiper, G. Reiße, S. Weißmantel:
Laser induced structural modifications of excimer laser ablated carbon films,
In: Proceedings of 4th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films and 11th Conference on High Vacuum, Interfaces and Thin Films (eds. G. Hecht, F. Richter, J. Hahn) (1994), S. 686

G. Reisse, F. Gansicke, A. Fischer, H. Johansen:
Laser Direct Writing of Titanium Silicide Thin-Films,
In: Applied Surface Science 69 (1993), Nr. 1-4, S. 412-417

Anfragen
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr. rer. nat. Steffen Weißmantel
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1449
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21449
eMail: steffen.weissmantel(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr.-Ing. André Streek
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1837
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21837
eMail: streek(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr.-Ing. Udo Löschner
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1336
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21336
eMail: udo.loeschner(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr. rer. nat. habil. Alexander Horn
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1069
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21069
eMail: horn4(at)hs-mittweida.de