Lasermikrostrukturierung
Die Lasermikrostrukturierung ist ein kontaktloses und verschleißfreies Verfahren, das von der hochpräzisen Oberflächenstrukturierung bis hin zur definierten Herstellung dreidimensionaler Bauelemente mit Strukturauflösungen bis in den sub-µm-Bereich Anwendung findet. Je nach Anforderung stehen am Laserinstitut Hochschule Mittweida Lasersysteme verschiedener Wellenlängen und Pulsdauern zur Verfügung, so dass auch die Bearbeitung von besonders harten sowie transparenten Materialien bei minimaler thermischer Bauteilbelastung möglich ist.
Für die Mikro- und Nanostrukturierung kommen am LHM Kurzpulslaser mit Pulsdauern im Nanosekundenbereich, Ultrakurzpulslaser mit Pulsdauern im Piko- und Femtosekundenbereich, Excimerlaser sowie ein Fluorlaser zum Einsatz. Die eingesetzten Laserwellenlängen reichen hierbei vom infraroten bis in den vakuum-ultravioletten Bereich, wodurch es möglich ist, nahezu jedes Material zu bearbeiten. Welcher Laser eingesetzt werden kann, hängt vom zu bearbeitenden Material ab.
bearbeitbare Materialien:
- Metalle (allgemein)
- Gläser (Borosilikatglas, Floatglas, …)
- Quarzglas (Corning 7980, SQ1, …)
- Edelsteine (Saphir, Diamant, …)
- wide-bandgap Materialien (CaF2, MgF2, …)
- Kunststoffe (PTFE, TOPAS 5013, …)
- Keramik (Al2O3, SiC, …)
- Verbundmaterial (WC, GFK, CFK, …)
- Hartstoffschichten (DLC, ta-C, c-BN, TiN, TiAlN, AlCrN, …)
Anwendungsbeispiele:
- Realisierung hochgenauer Masken für physikalische Strahlverfahren (Laser, Elektronen) in Quarzglas und refraktären Metallen mit verschiedenen Laserquellen
- flexible Realisierung von hochgenauen diffraktiven optischen Elementen (DOEs) zur Formung von Laserstrahlen
- Erzeugung von präzisen Mikrokanälen in Pyrexglasoberflächen für Mikrosysteme
- schneller Abtrag von spintronischen Schichten mit Auflösungen bis zu 2 µm zur Erzeugung von Sensorstrukturen (Rapid Prototyping)
- schnelle Realisierung von 2,5-D-Strukturen (z. B. Münzstempel) durch Abtrag mit Polygonspiegelscanner (Innovationen: ultraschnelle Energieverteilung und Datenverarbeitung)
- präzise Realisierung von großflächigen Mikrostrukturen durch Anwendung von fs-Laserstrahlung (siehe Video)
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WIR! - GRAVOmer-HoluMi-3D, TP: Untersuchungen zum ultraschnellen 3D Mikromaterialabtrag mit Polygonspiegelscanner (U3DPoly)
- Acsys Lasertechnik GmbH Kornwestheim
- MOEWE Optical Solutions GmbH Mittweida
- Sächsische Walzengravur GmbH Frankenberg/Sa.
- Connova Deutschland GmbH Großröhrsdorf
High-rate laser surface texturing of 3D injection molds to fabricate functionalized easy-flow polymeric containers (LaMoFlo)
- McGill University Montreal, Kanada
- École de Technologie Supérieur Montreal, Kanada
- IPL Inc. Montreal, Kanada
- Moulexpert Inc. Québec, Kanada
Entwicklung von Tribomaps für reibwerterhöhende Laserstrukturen
- TU Chemnitz
Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Hartmetall und Werkzeugstahl mit anschließender Mikrostrukturierung mittels ultrakurzer Laserpulse mit den Zielen der Optimierung der Prozesseffizienz und der tribologischen und Verschleißeigenschaften des Bauteils
- ACSYS Lasertechnik GmbH Kornwestheim
Stiftungsprofessur “Innovative Lasertechnologien”
- 3D-Micromac AG Chemnitz
- ACSYS Lasertechnik GmbH Kornwestheim
- EdgeWave GmbH Innovative Laser Solutions Würselen
- fiberware Generalunternehmen für Nachrichtentechnik GmbH Mittweida
- IMM electronics GmbH Mittweida
- InnoLas Solutions GmbH Krailling
- JENOPTIK Automatisierungstechnik GmbH Jena
- KOKI TECHNIK Transmission Systems GmbH Niederwürschnitz
- LASERVORM GmbH Altmittweida
- LIM Laserinstitut Mittelsachsen GmbH Mittweida
- Maicom Quarz GmbH Posterstein
- SITEC Industrietechnologie GmbH Chemnitz
- ULT AG Löbau
Entwicklung innovativer Lasertechnologien für die sächsische Wirtschaft (Eila-Sax)
- Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
- Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn
- Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
ZIM-Kooperationsprojekt mit Südkorea YieldMax, TP: Lasergestützte Hochrate-Ablation und Heizung von gedruckten Schichten mittels Polygonspiegelscanner
- TU Chemnitz, Professur Digitale Drucktechnik und Bebilderungstechnologie
- Konkuk University Seoul, Süd-Korea
- Miru Systems Co., Ltd. Seongnam-si, Süd-Korea
- Toba Co., Ltd. Seoul, Süd-Korea
- GT+W GmbH Rödermark
- Maurer Services GmbH Ebertsheim
Entwicklung von Produkt- und Prozessinnovationen HSMW 2017, TP1: Prozessverständnis und -parameter zum schädigungsarmen und selektiven Abtragen dünner organischer Schichten der organischen Elektronik (OE) durch resonante und zwei-Photonen-resonante Anregung
Pilot-Strukurwandel-Verbundvorhaben: Ostralas Optimierung der strömungsmechanischen Auslegung von Energiemaschinen durch Einsatz von Hochrate-Laserstrukturierungstechnologien TP1: Hochrate-Lasergenerierung von Riblet-Strukturen
- Jade Hochschule Wilhelmshaven
Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas)
- Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
- Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn
- Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
Untersuchungen zur Lederschwächung mittels UV-Laserstrahlung
Großflächige Ultrakurzpuls Laser Mikro/Nano Strukturierung (GROminaS)
- Sitec Industrietechnologie GmbH Chemnitz
- Siemens AG
Excellenzcluster Lasertechnik - Laser-Hochrateverfahren zur Oberflächenmodifizierung (LaHoModi)
- Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
- Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
- Prof. Dr. rer. nat. B. Steiger
- Prof. Dr. rer. nat. A. Fischer
Rapid Micro / Hochrate-Laserbearbeitung
- 3D-Micromac AG Chemnitz
- Sitec Industrietechnologie Chemnitz
- LASERVORM GmbH Altmittweida
- IMM Holding GmbH Mittweida
- Acsys Lasertechnik GmbH Mittweida
- LIM laserinstitut Mittelsachsen GmbH Mittweida
- Fiberware GmbH Mittweida
- MicroCeram GmbH Meißen
- VW AG Wolfsburg
- EOS GmbH Krailing
- ThyssenKrupp Electrical Steel GmbH Gelsenkirchen
- KSG Leiterplatten GmbH Gornsdorf
- KOKI TECHNIK Transmission Systems GmbH Niederwürschnitz
Gestaltung und Ermittlung charakterisierender Kennwerte von reibschlussoptimierten Oberflächen (GECKO), TP 5: Reibwerterhöhende Laserstrukturierung
- TU Chemnitz
- TU Magdeburg
- Fraunhofer IWS Dresden
Einsatz der Lasermikrostrukturierung für die Erzeugung von diffraktiven und refraktiven optischen Bauelementen (LAMIDIRE)
Excellenzcluster Lasertechnik - Entwicklung neuer Lasertechnologien
- Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
- Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Erzeugung und Untersuchung spintronischer Schichtsysteme - Spintronik, TP 2: Laser-Mikrostrukturierung und -Modifizierung nanoskaliger Schichtsysteme
- TU Chemnitz
- Fraunhofer ENAS Chemnitz
Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration (nanett); TP: Nanoskalige Materialsysteme - Laserstrukturierung
- TU Chemnitz
- Fraunhofer ENAS Chemnitz
- Leibnitz Institut IWF Dresden
- Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
Mikrobearbeitung von temperaturempfindlichen Bauteilen mit Ultrakurzpuls-Lasern (Mikro-UKP)
- FH Münster, Laserzentrum
- Acsys GmbH Mittweida
- Roth&Rau AG Hohenstein-Ernstthal
Laserpulsabscheidung von Schichten und Lasermikrostrukturierung von Festkörpermaterialien (LAMIS)
- Professur Biotechnologie
- Professur Maschinenbau
Entwicklung hochinnovativer Technologien und Verfahren zur 3D Mikrostrukturierung von Festkörpermaterialien mit großer Energiebandlücke durch Fluor- und Femtosekundenlaserstrahlung (3D Mikro)
- 3D Micromac AG Chemnitz
- TU Chemnitz - Zentrum für Mikrotechnologien
Rapid Microtooling mit laserbasierten Verfahren
- 3D-Micromac AG Chemnitz
- IVS Solutions AG Chemnitz
- LASERVORM GmbH Altmittweida
- Roth & Rau AG Hohenstein-Ernstthal
- Acsys GmbH Mittweida
- Jenoptik L.O.S. GmbH Jena
- MicroCeram GmbH Meißen
- DMOS GmbH Dresden
- LaserSign Mittweida
- Laserinstitut Mittelsachsen e.V. Mittweida
Plasmatexturierte Oberflächen für die kristalline Solarzellentechnologie (Platon)
- Roth & Rau AG, Wüstenbrand/Hohenstein-Ernstthal
- Deutsche Cell AG, Freiberg
- Fraunhofer Institut für Solartechnik, Freiburg
Entwicklung von Technologien zur Fluorlasermikrobearbeitung (Fluortech)
- 3D-Micromac AG Chemnitz
Technologieentwicklung mittels Femtosekundenlaser
Entwicklung von Technologien und Anlagen zur Lasermikrobearbeitung
3D Lasermikrostrukturierung
- TU Chemnitz, ZfM (Prof. Dr. rer. nat. habil. Geßner)
- Dr.Teschauer & Petsch AG Chemnitz
- ElCoSoft GmbH Chemnitz / IVS GmbH Chemnitz
- GPP GmbH Chemnitz
- Lernstatt GmbH Chemnitz
M. Olbrich,
T. Pflug,
A. Horn:
Bestrahlung einer dicken Goldschicht mit Einzelpulsen von ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
In:
Scientific Reports, 12. Mittweidaer Lasertagung 3/2021, S. 139-142
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U. Löschner:
Unerwartete Debrisablagerungen bei der Ultrakurzpuls-Multispot-Bearbeitung,
In:
Scientific Reports, 12. Mittweidaer Lasertagung 3/2021, S. 131-134
J. Schille,
D. Kattan,
S. Kraft,
T. Pflug,
A. Horn,
U. Löschner:
Entstehung unerwünschter Röntgenstrahlung bei der Ultrakurzpuls-Laserbearbeitung,
In:
Scientific Reports, 12. Mittweidaer Lasertagung 3/2021, S. 91-99
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High-power nanosecond pulsed laser engraving with an ultra-high speed polygon mirror scanner,
In:
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Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Werkzeugstahl und Hartmetall mittels ultrakurzer Laserpulse im Burstbetrieb,
In:
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S. Weißmantel:
Herstellung von Mikrostrukturen zur Beeinflussung des Bahndrehimpulses elektromagnetischer Strahlung,
In:
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Manufacturing of high quality 3D microstructures in stainless steel with ultrashort laser pulses using different burst modes,
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Backward Flux Re-Deposition Patterns during Multi-Spot Laser Ablation of Stainless Steel with Picosecond and Femtosecond Pulses in Air,
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Burst mode ablation of stainless steel with tunable ultrashort laser pulses,
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Optimization of the ablation process using ultrashort pulsed laser radiation in different burst modes,
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Duale Oberflächenbearbeitung mittels ultrakurzer Pulse im Burst Modus,
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Laser Beam Shaping of real Beams using a Spatial Light Modulator and spatial filtering in conjunction with a Closed Loop,
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Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, 12. Jenaer Lasertagung, DVS-Berichte Band 367, Düsseldorf: DVS Media, 2021, ISBN: 978-3-96144-132-7, S. 248
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Anwendung Ultrakurzgepulster Laserstrahlung im Werkzeug- und Formenbau,
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Tribological behaviour of femtosecond laser micro-patterned hydrogenated DLC in dry and hyaluronic gel lubricated conditions,
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Dynamik des komplexen Brechungsindexes von Gold nach Anregung mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
In:
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Comparison between film and rear side ablation of thin nickel chromium alloy films on transparent substrate using femtosecond laser radiation,
In:
Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 170-176
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Ablation von Metallen und Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen: Einfluss der Pulsdauer und der Wellenlänge,
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Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 151-154
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Mikroporen auf Implantat-Material mit ultrakurzen Pulsen im Burst Modus,
In:
Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 118-124
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Herstellung strömungsoptimierter Oberflächentopografien mittels Hochrate-Laserverfahren,
In:
Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 91-97
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Untersuchung der Anregungsmechanismen von PMMA mit ultrakurz gepulster mid-IR Laserstrahlung,
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M. Olbrich,
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Modellierung und zeitaufgelöste Messung des Abtrages von Goldschichten unterschiedlicher Schichtdicke durch ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
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Herstellung von Mikrozylinderlinsen und Mikrozylinderlinsenarrays in dielektrischen Materialien mittels Fluorlasermikrostrukturierung,
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Laser micromachining of silicon and cemented tungsten carbide using picosecond laser pulses in burst mode: ablation mechanisms and heat accumulation,
In:
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Manufacturing of Cylindrical Micro Lenses and Micro Lens Arrays in Fused Silica and Borosilicate Glass using F2-Laser Microstructuring,
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Using a camera feedback loop for phase retrieval in an iterative Fourier transform algorithm to calculate beam splitter phase gratings for parallel laser microstructuring,
In:
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Selective rear side ablation of thin nickel–chromium-alloy films using ultrashort laser pulses,
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Applied Physics A 123 (2017), Nr. 12, S. 789
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High precision 3D micro processing of Molybdenum by ultrashort pulse laser ablation,
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Selektive Laserablation von dünnen Aluminiumschichten auf Quarzglas mit Ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
In:
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F2-Lasermikrostrukturierung von Mikro-Fresnel-Linsen,
In:
Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 127-130
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Untersuchung der dynamischen Prozesse beim Erwärmen und Abtragen dünner Goldschichten nach Anregung mit ultrakurz gepulster Strahlung,
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Vergleich verschiedener physikalischer Modelle zur Beschreibung der polarisationsabhängigen Reflektometrie und Ellipsometrie,
In:
Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 111-114
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Vergleichende Untersuchungen zum Abtrag von Stahl und Eisen mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus,
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Großflächige und schnelle Funktionalisierung von technischen Oberflächen mittels Ultrakurzpuls-Laserbearbeitung,
In:
Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 37-42
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Untersuchungen zu Resonant-Infraroter Laserablation (RIA) an PMMA und BK7 Glas durch ultrakurz gepulster Laserstrahlung,
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Study on high-average power ultrashort pulse laser processing of AISI 304 stainless steel,
In:
Proceedings of 39th International MATADOR Conference on Advanced Manufacturing (2017)
J. Schille,
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Lasers in Engineering 36 (2017), Nr. 1-3, S. 31-50
P. Lickschat,
S. Weißmantel:
Ultrakurzpulslaserbeareitung von Stahl im Burst-Modus,
In:
Scientific Reports, 18. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz (NWK) 1/2017, S. 245-250
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Ablation of steel using picosecond laser pulses in burst mode,
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Applied Physics A 123 (2017), Nr. 2, S. 137
F. Ullmann,
L. Hartwig,
U. Löschner,
A. Thurm,
T. Werner:
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L. Schneider,
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Hochrate-Laserbearbeitung mit Hochleistungs-Ultrakurzpulslaser und Polygonspiegelscanner,
In:
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Experimental study on double-pulse laser ablation of steel upon multiple parallel-polarized ultrashort-pulse irradiations,
In:
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Case study on the ultrafast laser ablation of thin aluminum films: dependence on laser parameters and film thickness,
In:
Applied Physics A 122 (2016), Nr. 3, S. 215
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In:
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Aufbau und Untersuchung einer Verzögerungsstrecke für die Doppelpuls-Laserablation mit ultrakurzen Pulsen,
In:
Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 201-205
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Einzelpulsabtrag von Metallschichten mit ultrakurzen Laserpulsen unterschiedlicher Pulsdauer,
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Mikrostrukturierung von Stahl mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus,
In:
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CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas,
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Simulation der Temperaturverteilung in Gold und Platin infolge der Bestrahlung mit ultrakurzen Pulsen,
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Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen,
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Untersuchungen zur Lasermikrostrukturierung unter Nutzung unkonventioneller Strahlformung,
In:
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H. Grüttner,
S. Weißmantel:
Lasermikrostrukturierung ausgewählter Materialien mittels sehr kurzer Laserpulse <35 fs im Vergleich zu konventioneller Ultrakurzpulslaser-Mikrostrukturierung,
In:
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F. Ullmann,
L. Schneider,
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Reibwerterhöhende Funktionalisierung von Oberflächen mittels gepulster Laserstrahlung,
In:
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Mikrostrukturierung von tetraedrisch amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) mittels 248 nm KrF-Excimerlaser,
In:
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S. Weißmantel:
Femtosekundenlasermikrostrukturierung mittels Phasenmaskenprojektion unter Verwendung eines Spatial Light Modulators,
In:
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Polygonscantechnik für die Lasermikrobearbeitung,
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Hochrate-Lasermikrobearbeitung,
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Monolithic integration of focused 2D GMR spin valve magnetic field sensor for high-sensitivity (compass) applications (Presentation Recording),
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Process optimization in high-average-power ultrashort pulse laser microfabrication: how laser process parameters influence efficiency, throughput and quality,
In:
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CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas,
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F2-Lasermikrostrukturierung von diffraktiven Phasenelementen,
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Ultrakurzpulslaser-Mikrobearbeitung von Metallen - Verwendung von Pikosekunden-Laserpulsen für die Bearbeitung von Stahl,
In:
Innovative Fertigung durch Lasersysteme neuester Generation, DVS-Berichte Band 307, Düsseldorf: DVS Media, 2014, ISBN: 978-3-945023-04-4, S. 135-143
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High-PRF Ultrashort Pulse Laser Processing of Copper,
In:
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Selektive Neuausrichtung des Exchange Bias Feldes mittels Laser-Verfahren,
In:
Tagungsband der 12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik (2014)
I. Berthold,
U. Löschner,
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Exchange Bias Realignment Using a Laser-based Direct-write Technique,
In:
Physics Procedia 56 (2014), S. 1136-1142
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A. Streek,
H. Exner:
Comparison of High Rate Laser Ablation and Resulting Structures Using Continuous and Pulsed Single Mode Fiber Lasers,
In:
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J. Schille,
F. Ullmann,
L. Schneider,
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H. Exner:
Experimental Study on Laser Surface Texturing for Friction Coefficient Enhancement,
presented at: The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Vilnius, Lithuania (Oral Presentation)
P. Lickschat,
J. Schille,
G. Reiße,
S. Weißmantel:
Multi-Burst Mode Picosecond Laser Processing of Steel,
presented at: The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Vilnius, Lithuania (Poster)
J. Schille,
L. Schneider,
M. Müller,
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Highspeed Laser Micro Processing using Ultrashort Laser Pulses,
In:
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M. Mueller,
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P. Matthes,
M. Albrecht,
H. Exner:
Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spin-valve layer stacks using laser radiation,
In:
Applied Surface Science 302 (2014), S. 159-162
I. Berthold,
M. Müller,
R. Ebert,
J. Schille,
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H. Exner,
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M. Albrecht:
Selective realignment of the exchange biased magnetization direction in spintronic layer stacks using continuous and pulsed laser radiation,
In:
Proceedings of SPIE 8967 (2014), S. 53
M. Pfeifer,
F. Jahn,
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S. Weissmantel:
F2-Laser Microfabrication of Diffractive Phase Elements,
In:
Proceedings of 2nd International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology (2014), S. 91-96
J. Schille:
Investigation of micromachining using a high repetition rate femtosecond fibre laser,
Manchester, UK: The University of Manchester, Dissertation, 2013
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Hochrate - Lasermikrostrukturierung von Edelstahl mit fs - Laserstrahlung,
In:
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M. Mueller,
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Highspeed Laser Micro Processing using Ultrashort Laser Pulses,
In:
Proceedings of 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (2013)
M. Müller,
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Femtosecond laser ablation of a thin metal stack layer,
presented at: E-MRS 2013 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Poster)
M. Pfeifer,
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G. Reisse:
Direct laser fabrication of blaze gratings in fused silica,
In:
Applied Physics A 112 (2013), Nr. 1, S. 61-64
I. Berthold,
M. Mueller,
S. Klötzer,
R. Ebert,
S. Thomas,
P. Matthes,
M. Albrecht,
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Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spintronic layer stacks using laser radiation,
presented at: E-MRS 2013 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Oral Presentation)
I. Berthold,
M. Müller,
R. Ebert,
S. Thomas,
P. Matthes,
M. Albrecht,
H. Exner:
Investigation of micro structuring and magnetizing of spintronic layer stacks using laser irradiation,
In:
Proceedings of Smart Systems Integration 109/2013
R. Ebert,
L. Hartwig,
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Hochrate-Laserforschung am Laserinstitut der Hochschule Mittweida,
In:
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J. Schille,
R. Ebert,
U. Löschner,
H. Exner:
Wechselwirkungsmechanismen beim Einsatz eines hochrepetierenden Ultrakurzpulslasers zur 3D Mikrostrukturierung von Metallen,
In:
Lasermaterialbearbeitung: Innovationen und Trends, DVS-Berichte Band 288, Düsseldorf: DVS Media, 2012, ISBN: 978-3-87155-595-4, S. 117-119
U. Löschner,
L. Hartwig,
J. Schille,
R. Ebert,
H. Exner:
Highrate laser micro machining - capabilities and applications,
In:
Proceedings of International Laser and Coating Symposium (2012)
M. Pfeifer,
F. Jahn,
S. Weißmantel,
B. Steiger:
Fluorlasermikrostrukturierung diffraktiver optischer Elemente in Quarzglas,
In:
Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 103-106
A. Engel,
M. Pfeiffer,
R. Böttcher,
S. Weißmantel:
3D-Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedelicher Wellenlängen,
In:
Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 99-102
I. Berthold,
M. Müller,
S. Klötzer,
R. Ebert,
H. Exner:
Untersuchungen zur selektiven Magnetisierung von spintronischen Schichtsystemen mittels Laserstrahlung,
In:
Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 70-73
P. Lickschat,
J. Schille, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von Stahl mit Piko- und Femtosekundenlaserpulsen,
In:
Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 54-57
U. Löschner,
L. Hartwig,
F. Ullmann,
R. Ebert,
H. Exner:
Hochrate-Laserbearbeitung - Potential und Anwendungsmöglichkeiten,
In:
Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 18-24
P. Lickschat,
J. Schille,
R. Ebert,
H. Exner,
S. Weissmantel:
Comparative Study on Microstructuring of Steel Using Pico- and Femtosecond Laser Pulses,
In:
Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2012), S. 1261-1268
M. Müller,
R. Ebert,
J. Schille,
H. Exner:
Investigation of laser micro structuring of spintronic stack layers using a highly - repetitive femtosecond laser,
presented at: E-MRS 2012 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Poster)
H. Exner,
L. Hartwig,
R. Ebert,
S. Klötzer,
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High Speed Laser Micro Processing Using High Brilliance Continuous Wave Laser Radiation,
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Fluorlasermikrostrukturierung von Blaze-Gittern in Quarzglas,
In:
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B. Steiger,
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Micro processing of metals using a high repetition rate femto second laser: from laser process parameter study to machining examples,
In:
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Microstructuring of steel and hard metal using Femtosecond Laser Pulses,
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Mikrostrukturierung von Metallen und Hartstoffen mit Femtosekundenlaserstrahlung,
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Tribologische Eigenschaften von mikrostrukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C),
In:
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Hochrate-Laserbearbeitung mit schnellen und ultraschnellen Scannern,
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Lasermikrostrukturierung von wide-bandgap-Materialien,
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Anfragen
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr. rer. nat.
Steffen Weißmantel
Tel.:
+49 (0) 3727 / 58-1449
eMail:
steffen.weissmantel(at)hs-mittweida.de
Prof. Dr.-Ing.
André Streek
Tel.:
+49 (0) 3727 / 58-1837
eMail:
streek(at)hs-mittweida.de
Prof. Dr.-Ing.
Udo Löschner
Tel.:
+49 (0) 3727 / 58-1336
eMail:
udo.loeschner(at)hs-mittweida.de
Prof. Dr. rer. nat. habil.
Alexander Horn
Tel.:
+49 (0) 3727 / 58-1069
eMail:
horn4(at)hs-mittweida.de