Strukturieren / Abtragen

Das Lasermikrostrukturieren ist ein kontaktloses und verschleißfreies Verfahren, das von der hochpräzisen Oberflächenflächenstrukturierung bis hin zur definierten Herstellung dreidimensionaler Bauelemente mit Strukturauflösungen bis in den sub-µm-Bereich Anwendung findet. Je nach Anforderung stehen Lasersysteme verschiedener Wellenlängen und Pulsdauern zur Verfügung, so dass auch die Bearbeitung von besonders harten sowie transparenten Materialien bei  minimaler thermischer Bauteilbelastung möglich ist.

Für die Mikro- und Nanostrukturierung kommen am Laserinstitut Hochschule Mittweida Kurzpulslaser mit Pulsdauern im Nanosekundenbereich, Ultrakurzpulslaser mit Pulsdauern im Piko- und Femtosekundenbereich, Excimerlaser sowie ein Fluorlaser zum Einsatz. Die eingesetzten Laserwellenlängen reichen hierbei vom infraroten bis in den vakuum-ultravioletten Bereich, wodurch es möglich ist nahezu jedes Material zu bearbeiten. Welcher Laser eingesetzt werden kann, hängt vom zu bearbeitenden Material ab.

Hier finden Sie eine Übersicht über verschiedene Materialen und mit welchem Lasertyp sie sinnvoller Weise bearbeitet werden sollten:

Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte direkt an nebenstehende Ansprechpartner.

Herausragende Ergebnisse in diesem Bereich sind u. a.:

  • Realisierung hochgenauer Masken für physikalische Strahlverfahren (Laser, Elektronen)  in Quarzglas und refraktären Metallen mit verschiedenen Laserquellen
  • flexible Realisierung von hochgenauen diffraktiven optischen Elementen (DOEs) zur Formung von Laserstrahlen
  • Erzeugung von präzisen Mikrokanälen in Pyrexglasoberflächen für Mikrosysteme
  • schneller Abtrag von spintronischen Schichten mit Auflösungen bis zu 2 µm zur Erzeugung von Sensorstrukturen (Rapid Prototyping)
  • schnelle Realisierung von 2,5-D-Strukturen (z. B. Münzstempel) durch Abtrag mit Polygonspiegelscanner (Innovationen: ultraschnelle Energieverteilung und Datenverarbeitung)
  • präzise Realisierung von großflächigen Mikrostrukturen durch Anwendung von fs-Laserstrahlung (siehe Video)

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Entwicklung von Produkt- und Prozessinnovationen HSMW 2017, TP1: Prozessverständnis und -parameter zum schädigungsarmen und selektiven Abtragen dünner organischer Schichten der organischen Elektronik (OE) durch resonante und zwei-Photonen-resonante Anregu

Laufzeit: 2017 - 2019
Förderung: SMWK
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn

 

Pilot-Strukurwandel-Verbundvorhaben: Ostralas Optimierung der strömungsmechanischen Auslegung von Energiemaschinen durch Einsatz von Hochrate-Laserstrukturierungstechnologien TP1: Hochrate-Lasergenerierung von Riblet-Strukturen

Laufzeit: 2016 - 2019
Förderung: BMBF
Projektpartner:
  • Jade Hochschule Wilhelmshaven
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. U. Löschner

 

Großflächige Ultrakurzpuls Laser Mikro/Nano Strukturierung (GROminaS)

Laufzeit: 2014 - 2017
Förderung: BMBF (FHProfUnt)
Projektpartner:
  • Sitec Industrietechnologie GmbH Chemnitz
  • Siemens AG
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. U. Löschner

 

Untersuchungen zur Lederschwächung mittels UV-Laserstrahlung

Laufzeit: 2015 - 2016
Förderung: Industrie
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Excellenzcluster Lasertechnik - Laser-Hochrateverfahren zur Oberflächenmodifizierung (LaHoModi)

Laufzeit: 2013 - 2014
Förderung: SMWK
Projektpartner:
  • Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
  • Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
  • Prof. Dr. rer. nat. B. Steiger
  • Prof. Dr. rer. nat. A. Fischer
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
Webseite: laz.hs-mittweida.de/43_rapidmicro/70_nachfolgeprojekte/40_LaHoModi

 

Gestaltung und Ermittlung charakterisierender Kennwerte von reibschlussoptimierten Oberflächen (GECKO), TP 5: Reibwerterhöhende Laserstrukturierung

Laufzeit: 2011 - 2014
Förderung: AiF / DFG - Gemeinschaftsvorhaben (CLUSTER)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • TU Magdeburg
  • Fraunhofer IWS Dresden
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
Webseite: www.tu-chemnitz.de/mb/KL/gecko/gecko.php

 

Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration (nanett); TP: Nanoskalige Materialsysteme - Laserstrukturierung

Laufzeit: 2009 - 2014
Förderung: BMBF (Spitzenforschung in den Neuen Ländern)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • Fraunhofer ENAS Chemnitz
  • Leibnitz Institut IWF Dresden
  • Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
Webseite: www.nanett.org/

 

Erzeugung und Untersuchung spintronischer Schichtsysteme - Spintronik, TP 2: Laser-Mikrostrukturierung und -Modifizierung nanoskaliger Schichtsysteme

Laufzeit: 2010 - 2013
Förderung: SAB / EU (Verbesserung der Forschungsinfrastruktur und Forschungsvorhaben mit jeweils anwendungsnaher Ausrichtung)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • Fraunhofer ENAS Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Mikrobearbeitung von temperaturempfindlichen Bauteilen mit Ultrakurzpuls-Lasern (Mikro-UKP)

Laufzeit: 2009 - 2012
Förderung: BMBF (FHprofUnt)
Projektpartner:
  • FH Münster, Laserzentrum
  • Acsys GmbH Mittweida
  • Roth&Rau AG Hohenstein-Ernstthal
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. B. Steiger

 

Entwicklung hochinnovativer Technologien und Verfahren zur 3D Mikrostrukturierung von Festkörpermaterialien mit großer Energiebandlücke durch Fluor- und Femtosekundenlaserstrahlung (3D Mikro)

Laufzeit: 2007 - 2010
Förderung: BMBF (AiF Programm FHprofUnt)
Projektpartner:
  • 3D Micromac AG Chemnitz
  • TU Chemnitz - Zentrum für Mikrotechnologien
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Plasmatexturierte Oberflächen für die kristalline Solarzellentechnologie (Platon)

Laufzeit: 2004 - 2006
Förderung: BMU
Projektpartner:
  • Roth & Rau AG, Wüstenbrand/Hohenstein-Ernstthal
  • Deutsche Cell AG, Freiberg
  • Fraunhofer Institut für Solartechnik, Freiburg
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Entwicklung von Technologien zur Fluorlasermikrobearbeitung (Fluortech)

Laufzeit: 2004 - 2005
Förderung: BMBF (Innoregio Innovationsregion Mittelsachsen „Innosachs“)
Projektpartner:
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Technologieentwicklung mittels Femtosekundenlaser

Laufzeit: 2003 - 2004
Förderung: BMBF (Innoregio Innovationsregion Mittelsachsen „Innosachs“)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Entwicklung von Technologien und Anlagen zur Lasermikrobearbeitung

Laufzeit: 2001 - 2003
Förderung: BMBF (Innoregio Innovationsregion Mittelsachsen „Innosachs“)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

3D Lasermikrostrukturierung

Laufzeit: 1998 - 2001
Förderung: SMWA (Verbundprojektförderung)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz, ZfM (Prof. Dr. rer. nat. habil. Geßner)
  • Dr.Teschauer & Petsch AG Chemnitz
  • ElCoSoft GmbH Chemnitz / IVS GmbH Chemnitz
  • GPP GmbH Chemnitz
  • Lernstatt GmbH Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
L. Pabst, R. Ebert, H. Exner:
Selective Ablation of thin Nickel-chromium-alloy Films Using Ultrashort Pulsed Laser,
In: Physics Procedia 83 (2016), S. 104-113

M. Olbrich, E. Punzel, P. Lickschat, S. Weißmantel, A. Horn:
Investigation on the Ablation of thin Metal Films with Femtosecond to Picosecond-pulsed Laser Radiation,
In: Physics Procedia 83 (2016), S. 93-103

J. Schille, L. Schneider, A. Streek, S. Kloetzer, U. Loeschner:
High-throughput machining using high average power ultrashort pulse lasers and ultrafast polygon scanner,
In: Proceedings of SPIE 9736 (2016)

M. Olbrich, E. Punzel, R. Roesch, R. Oettking, B. Muhsin, H. Hoppe, A. Horn:
Case study on the ultrafast laser ablation of thin aluminum films: dependence on laser parameters and film thickness,
In: Applied Physics A 122 (2016), Nr. 3, S. 215

J. Schille, F. Ullmann, L. Schneider, M. Graefensteiner, S. Schiefer, M. Gerlach, E. Leidich, H. Exner:
Experimental Study on Laser Surface Texturing for Friction Coefficient Enhancement,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 10 (2015), Nr. 3, S. 245-253

M.J. Almeida, P. Matthes, O. Ueberschär, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, M. Albrecht, S. E. Schulz:
Optimum Laser Exposure for Setting Exchange Bias in Spin Valve Sensors,
In: Physics Procedia 75 (2015), S. 1192-1197

S. Weinhold, R. Ebert, M. Kutzer, H. Exner:
Strukturierung von Zellverbindern durch Schmelzumlagerung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 209-212

S. Kraft, J. Schille, L. Hartwig, L. Schneider, U. Löschner:
Aufbau und Untersuchung einer Verzögerungsstrecke für die Doppelpuls-Laserablation mit ultrakurzen Pulsen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 201-205

P. Lickschat, J. Schille, M. Olbrich, L. Schneider, A. Horn, U. Löschner, S. Weißmantel:
Einzelpulsabtrag von Metallschichten mit ultrakurzen Laserpulsen unterschiedlicher Pulsdauer,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 196-200

P. Lickschat, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von Stahl mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 192-195

M. Pfeifer, S. Büttner, S. Weißmantel:
CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 187-191

M. Müller, R. Ebert, J. Schille, H. Exner:
Investigation of Laser Micro Structuring of Spintronic Stack Layers Using a Highly-Repetitive Femtosecond Laser,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 179-182

M. Olbrich, P. Lickschat, L. Schneider, J. Schille, U. Löschner, S. Weißmantel, A. Horn:
Simulation der Temperaturverteilung in Gold und Platin infolge der Bestrahlung mit ultrakurzen Pulsen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 175-178

M. Pfeiffer, A. Engel, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 167-170

L. Pabst, W. Perrie, G. Dearden, H. Exner:
Femtosecond Selective Ablation of Thin ITO Films on Glas Substrate,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 163-166

I. Berthold, M. Olbrich, R. Ebert, H. Exner:
Untersuchungen zur Lasermikrostrukturierung unter Nutzung unkonventioneller Strahlformung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 136-140

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Lasermikrostrukturierung ausgewählter Materialien mittels sehr kurzer Laserpulse <35 fs im Vergleich zu konventioneller Ultrakurzpulslaser-Mikrostrukturierung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 132-135

F. Ullmann, L. Schneider, J. Schille, M. Gräfensteiner, E. Leidich, H. Exner:
Reibwerterhöhende Funktionalisierung von Oberflächen mittels gepulster Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 118-123

F. Jahn, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von tetraedrisch amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) mittels 248 nm KrF-Excimerlaser,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 114-117

A. Kratsch, F. Ehrenberg, S. Weißmantel:
Femtosekundenlasermikrostrukturierung mittels Phasenmaskenprojektion unter Verwendung eines Spatial Light Modulators,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 100-105

A. Streek, S. Klötzer:
Polygonscantechnik für die Lasermikrobearbeitung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 82-85

U. Löschner, J. Schille, F. Ullmann, A. Streek, L. Hartwig, S. Klötzer:
Hochrate-Lasermikrobearbeitung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 70-76

J. Schille, L. Schneider, U. Löschner:
Lasermikrobearbeitung mit hochrepetierenden Ultrakurzpuls-Lasersystemen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 12-16

M.J. Almeida, T. Götze, O. Ueberschär, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, S. E. Schulz:
Monolithic Integration of 2D Spin Valve Magnetic Field Sensors for Angular Sensing,
In: Materials Today: Proceedings 2 (2015), Nr. 8, S. 4206-4211

M. Pfeiffer, A. Engel, G. Reisse, S. Weissmantel:
Microstructuring of fused silica using femtosecond laser pulses of various wavelengths,
In: Applied Physics A 121 (2015), Nr. 2, S. 689-693

O. Ueberschär, M.J. Almeida, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, S. E. Schulz:
Monolithic integration of focused 2D GMR spin valve magnetic field sensor for high-sensitivity (compass) applications (Presentation Recording),
In: Proceedings of SPIE 9551 (2015)

R. Ebert, M. Müller, H. Exner:
Laserstrahlmikrostrukturierung für spintronische Magnetfeldsensoren,
In: Lasermagazin 4/2015, S. 36-37

J. Schille, L. Schneider, U. Löschner:
Process optimization in high-average-power ultrashort pulse laser microfabrication: how laser process parameters influence efficiency, throughput and quality,
In: Applied Physics A 120 (2015), Nr. 3, S. 847-855

M. Pfeifer, S. Büttner, S. Weißmantel:
CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas,
In: Lasermagazin 2/2015, S. 28-29

J. Schille, L. Schneider, L. Hartwig, U. Löschner:
High-rate laser processing of metals using high-average power ultrashort pulse lasers,
In: Proceedings of 38th International MATADOR Conference on Advanced Manufacturing (2015), S. 88-96

J. Schille, L. Schneider, P. Lickschat, U. Löschner, R. Ebert, H. Exner:
High-pulse repetition frequency ultrashort pulse laser processing of copper,
In: Journal of Laser Application 27 (2015), Nr. S28007

O. Ueberschär, M. J. Almeida, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, R. Rückriem, J. Schuster, H. Exner, S. E. Schulz:
Optimized Monolithic 2-D Spin-Valve Sensor for High-Sensitivity Compass Applications,
In: IEEE Transactions on Magnetics 51 (2015), Nr. 1, S. 1-4

M. Pfeifer, F. Jahn, A. Kratsch, B. Steiger, S. Weißmantel:
F2-Lasermikrostrukturierung von diffraktiven Phasenelementen,
In: Innovative Fertigung durch Lasersysteme neuester Generation, DVS-Berichte Band 307, Düsseldorf: DVS Media, 2014, ISBN: 978-3-945023-04-4, S. 191-199

P. Lickschat, J. Schille, G. Reiße, S. Weißmantel:
Ultrakurzpulslaser-Mikrobearbeitung von Metallen - Verwendung von Pikosekunden-Laserpulsen für die Bearbeitung von Stahl,
In: Innovative Fertigung durch Lasersysteme neuester Generation, DVS-Berichte Band 307, Düsseldorf: DVS Media, 2014, ISBN: 978-3-945023-04-4, S. 135-143

J. Schille, L. Schneider, P. Lickschat, U. Löschner, R. Ebert, H. Exner:
High-PRF Ultrashort Pulse Laser Processing of Copper,
In: Proceedings of 33th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2014)

I. Berthold, U. Löschner, R. Ebert, H. Exner:
Selektive Neuausrichtung des Exchange Bias Feldes mittels Laser-Verfahren,
In: Tagungsband der 12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik (2014)

I. Berthold, U. Löschner, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Exchange Bias Realignment Using a Laser-based Direct-write Technique,
In: Physics Procedia 56 (2014), S. 1136-1142

T. Knebel, A. Streek, H. Exner:
Comparison of High Rate Laser Ablation and Resulting Structures Using Continuous and Pulsed Single Mode Fiber Lasers,
In: Physics Procedia 56 (2014), S. 19-28

J. Schille, F. Ullmann, L. Schneider, M. Graefensteiner, S. Schiefer, M. Gerlach, E. Leidich, H. Exner:
Experimental Study on Laser Surface Texturing for Friction Coefficient Enhancement,
presented at: The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Vilnius, Lithuania (Oral Presentation)

P. Lickschat, J. Schille, G. Reiße, S. Weißmantel:
Multi-Burst Mode Picosecond Laser Processing of Steel,
presented at: The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Vilnius, Lithuania (Poster)

J. Schille, L. Schneider, M. Müller, U. Löschner, N. Goddard, P. Scully, H. Exner:
Highspeed Laser Micro Processing using Ultrashort Laser Pulses,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 9 (2014), Nr. 2, S. 161-168

I. Berthold, M. Mueller, S. Klötzer, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spin-valve layer stacks using laser radiation,
In: Applied Surface Science 302 (2014), S. 159-162

I. Berthold, M. Müller, R. Ebert, J. Schille, U. Löschner, H. Exner, P. Matthes, M. Albrecht:
Selective realignment of the exchange biased magnetization direction in spintronic layer stacks using continuous and pulsed laser radiation,
In: Proceedings of SPIE 8967 (2014), S. 53

M. Pfeifer, F. Jahn, A. Kratsch, B. Steiger, S. Weissmantel:
F2-Laser Microfabrication of Diffractive Phase Elements,
In: Proceedings of 2nd International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology (2014), S. 91-96

J. Schille, U. Löschner, R. Ebert:
Hochrate - Lasermikrostrukturierung von Edelstahl mit fs - Laserstrahlung,
In: Lasermagazin 5/2013, S. 30-31

J. Schille, L. Schneider, M. Mueller, U. Loeschner, N. Goddard, P. Scully, H. Exner:
Highspeed Laser Micro Processing using Ultrashort Laser Pulses,
In: Proceedings of 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (2013)

M. Müller, R. Ebert, J. Schille, H. Exner:
Femtosecond laser ablation of a thin metal stack layer,
presented at: E-MRS 2013 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Poster)

M. Pfeifer, S. Weissmantel, G. Reisse:
Direct laser fabrication of blaze gratings in fused silica,
In: Applied Physics A 112 (2013), Nr. 1, S. 61-64

I. Berthold, M. Mueller, S. Klötzer, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spintronic layer stacks using laser radiation,
presented at: E-MRS 2013 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Oral Presentation)

I. Berthold, M. Müller, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of micro structuring and magnetizing of spintronic layer stacks using laser irradiation,
In: Proceedings of Smart Systems Integration 109/2013

R. Ebert, L. Hartwig, U. Löschner, H. Exner:
Hochrate-Laserforschung am Laserinstitut der Hochschule Mittweida,
In: Lasermagazin 4/2012

J. Schille, R. Ebert, U. Löschner, H. Exner:
Wechselwirkungsmechanismen beim Einsatz eines hochrepetierenden Ultrakurzpulslasers zur 3D Mikrostrukturierung von Metallen,
In: Lasermaterialbearbeitung: Innovationen und Trends, DVS-Berichte 288 (2012), S. 117-119

P. Lickschat, J. Schille, S. Weißmantel:
Mikrostrukturierung von Stahl mit Piko- und Femtosekundenlaserpulsen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 54-57

I. Berthold, M. Müller, S. Klötzer, R. Ebert, H. Exner:
Untersuchungen zur selektiven Magnetisierung von spintronischen Schichtsystemen mittels Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 70-73

U. Löschner, L. Hartwig, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Highrate laser micro machining - capabilities and applications,
In: Proceedings of International Laser and Coating Symposium (2012)

U. Löschner, L. Hartwig, F. Ullmann, R. Ebert, H. Exner:
Hochrate-Laserbearbeitung - Potential und Anwendungsmöglichkeiten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 18-24

M. Pfeifer, F. Jahn, S. Weißmantel, B. Steiger:
Fluorlasermikrostrukturierung diffraktiver optischer Elemente in Quarzglas,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 103-106

A. Engel, M. Pfeiffer, R. Böttcher, S. Weißmantel:
3D-Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedelicher Wellenlängen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 99-102

P. Lickschat, J. Schille, R. Ebert, H. Exner, S. Weissmantel:
Comparative Study on Microstructuring of Steel Using Pico- and Femtosecond Laser Pulses,
In: Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2012), S. 1261-1268

M. Müller, R. Ebert, J. Schille, H. Exner:
Investigation of laser micro structuring of spintronic stack layers using a highly - repetitive femtosecond laser,
presented at: E-MRS 2012 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Poster)

H. Exner, L. Hartwig, R. Ebert, S. Klötzer, A. Streek, J. Schille, U. Löschner:
High Speed Laser Micro Processing Using High Brilliance Continuous Wave Laser Radiation,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 7 (2012), Nr. 1

J. Schille, L. Schneider, U. Loeschner, R. Ebert, P. Scully, N. Goddard, B. Steiger, H. Exner:
Micro processing of metals using a high repetition rate femto second laser: from laser process parameter study to machining examples,
In: Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2011)

M. Pfeifer, S. Weißmantel, G. Reiße:
Fluorlasermikrostrukturierung von Blaze-Gittern in Quarzglas,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011, S. 62

M. Pfeiffer, A. Engel, S. Weißmantel, S. Scholze, G. Reisse:
Microstructuring of steel and hard metal using Femtosecond Laser Pulses,
In: Physics Procedia 12/2011, S. 9-11

A. Engel, M. Pfeiffer, S. Weißmantel, F. Hähnel:
Lasermikrostrukturierung mit Femtosekunden- und Fluorlaserstrahlung,
In: New Journal of Physics 4/2011, S. 18

A. Engel, M. Pfeiffer, S. Weißmantel, P. Lickschat:
Mikrostrukturierung von Metallen und Hartstoffen mit Femtosekundenlaserstrahlung,
In: New Journal of Physics 4/2011, S. 20-21

U. Loeschner, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Laser processing inside polymers,
In: Industrial Laser Solutions, May/June 2011, S. 9-11

K. Guenther, S. Weissmantel, F. Marquardt, M. Pfeiffer:
Tribologische Eigenschaften von mikrostrukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C),
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 23-28

A. -C. Teichmann, M. Pfeiffer, K. Günther, S. Weißmantel, P. Radehaus:
Effect of microstructured and ta-C coated glass-surfaces on cell growth,
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 35-39

R. Ebert, L. Hartwig, S. Klötzer, A. Streek, U. Löschner, J. Schille, F. Ullmann, H. Exner:
Hochrate-Laserbearbeitung mit schnellen und ultraschnellen Scannern,
In: Lasermagazin 1/2011, S. 34-35

M. Pfeiffer:
Lasermikrostrukturierung von wide-bandgap-Materialien,
Saarbrücken: VDM Verlag Dr. Müller, 2011, ISBN: 978-3-639-32796-0

U. Löschner, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Laser processing inside transparent materials: dependence on pulse length and wavelength,
In: Proceedings of SPIE 7726 (2011), S. 5

J. Schille:
Fast, precise, and reliable 3D laser microstructuring,
In: SPIE Newsroom (2010)

U. Löschner, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Short pulse and ultrashort pulse laser processing inside polymers,
In: Proceedings of 3rd International Symposium on Laser-Micromachining (2010)

J. Schille, U. Löschner, R. Ebert, P. Scully, N. Goddard, H. Exner:
Laser micro processing using a high repetition rate femto second laser,
In: Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics (2010), S. 1491-1499

K. Günther, S. Weißmantel, G. Reiße, M. Pfeiffer, F. Marquardt:
Tribological properties of super-hard amorphous carbon (ta-C) layers microstructured by fs-laser pulses,
In: Proceedings of Structural Materials Technology Conference (2010)

S. Liang, P. J. Scully, J. Schille, J. Vaughan, M. Benyezzar, D. Liu, W. Perrie:
Writing Parameters for 3D Refractive Index Structures in Polymethyl Methacrylate Using Femtosecond Radiation at 400 nm,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 5 (2010), Nr. 1

U. Löschner, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Short pulse and ultrashort pulse laser machining inside transparent polymers,
In: Proceedings of 11th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (2010)

S. Weißmantel, G. Reiße, F. Haehnel, R. Bertram, R. Boettcher:
Production of microstructures in wide-band-gap and organic materials using pulsed laser ablation at 157 nm wavelength,
In: Applied Physics A 101 (2010), S. 491

I. Mingareev, A. Horn:
Melt dynamics of aluminum irradiated with ultrafast laser radiation at large intensities,
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Projektanfragen / -koordination
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. Horst Exner
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1413
Fax: +49 (0) 3727 / 58-1867
eMail: exner(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr. rer. nat. Steffen Weißmantel
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1449
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21449
eMail: steffen.weissmantel(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr.-Ing. Udo Löschner
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1336
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21336
eMail: udo.loeschner(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr. rer. nat. habil. Alexander Horn
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1069
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21069
eMail: horn4(at)hs-mittweida.de