Modifizieren

Lasergestützte Modifikationen oberflächennaher Probenbereiche bieten in vielfältigen Bereichen die Möglichkeit, die Funktionalität von Bauteilen zu erhöhen. Durch Texturierung können die Grenzflächeneigenschaften der mit dem Laser bearbeiteten Oberflächen variiert werden. Die hierfür vielfach in Anwendung gebrachten selbstorganisierenden Strukturen bieten weiterhin die Möglichkeit der Veränderung der tribologischen Eigenschaften der Werkstückoberflächen, wie beispielsweise die Verminderung des Reibungskoeffizienten.

 

Entwicklung monolithisch integrierter 3D-TMR-Sensoren der nächsten Generation durch Ausnutzung einer vertikalen magnetischen Grenzflächenanisotropie

Laufzeit: 2015 - 2018
Förderung: DFG
Projektpartner:
  • TU Chemnitz, Frau Prof. Salvan
  • Fraunhofer ENAS Chemnitz, Herr Prof. Schulz
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner

 

Laserumformung von Silicium-Mikrostrukturen als Formgebungsverfahren in der Mikrotechnologie

Laufzeit: 2000 - 2003
Förderung: DFG
Projektpartner:
  • Institut für Mikrosystem und Halbleitertechnik, TU Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
J. Schille, F. Ullmann, L. Schneider, M. Graefensteiner, S. Schiefer, M. Gerlach, E. Leidich, H. Exner:
Experimental Study on Laser Surface Texturing for Friction Coefficient Enhancement,
In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 10 (2015), Nr. 3, S. 245-253

M.J. Almeida, P. Matthes, O. Ueberschär, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, M. Albrecht, S. E. Schulz:
Optimum Laser Exposure for Setting Exchange Bias in Spin Valve Sensors,
In: Physics Procedia 75 (2015), S. 1192-1197

S. Weinhold, R. Ebert, M. Kutzer, H. Exner:
Strukturierung von Zellverbindern durch Schmelzumlagerung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 209-212

L. Pabst, W. Perrie, G. Dearden, H. Exner:
Femtosecond Laser Induced Periodic Surface Structures of ITO Thin Films on Glass Substrate,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 158-162

A. Engel, M. Pfeiffer, S. Weißmantel:
Ripple-Bildung mittels Femtosekundenlaserstrahlung auf Oberflächen von Metallen und Hartstoffen,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 106-109

M.J. Almeida, T. Götze, O. Ueberschär, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, S. E. Schulz:
Monolithic Integration of 2D Spin Valve Magnetic Field Sensors for Angular Sensing,
In: Materials Today: Proceedings 2 (2015), Nr. 8, S. 4206-4211

O. Ueberschär, M.J. Almeida, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, H. Exner, S. E. Schulz:
Monolithic integration of focused 2D GMR spin valve magnetic field sensor for high-sensitivity (compass) applications (Presentation Recording),
In: Proceedings of SPIE 9551 (2015)

O. Ueberschär, M. J. Almeida, P. Matthes, M. Müller, R. Ecke, R. Rückriem, J. Schuster, H. Exner, S. E. Schulz:
Optimized Monolithic 2-D Spin-Valve Sensor for High-Sensitivity Compass Applications,
In: IEEE Transactions on Magnetics 51 (2015), Nr. 1, S. 1-4

I. Berthold, U. Löschner, R. Ebert, H. Exner:
Selektive Neuausrichtung des Exchange Bias Feldes mittels Laser-Verfahren,
In: Tagungsband der 12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik (2014)

I. Berthold, U. Löschner, J. Schille, R. Ebert, H. Exner:
Exchange Bias Realignment Using a Laser-based Direct-write Technique,
In: Physics Procedia 56 (2014), S. 1136-1142

I. Berthold, M. Mueller, S. Klötzer, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spin-valve layer stacks using laser radiation,
In: Applied Surface Science 302 (2014), S. 159-162

I. Berthold, M. Müller, R. Ebert, J. Schille, U. Löschner, H. Exner, P. Matthes, M. Albrecht:
Selective realignment of the exchange biased magnetization direction in spintronic layer stacks using continuous and pulsed laser radiation,
In: Proceedings of SPIE 8967 (2014), S. 53

L. Overmeyer, V. Schütz, A. Horn, U. Stute:
Laser induced quasi-periodical microstructures with external field modulation for efficient gain in photovoltaics,
In: CIRP Annals - Manufacturing Technology 62 (2013), Nr. 1, S. 207-210

I. Berthold, M. Mueller, S. Klötzer, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spintronic layer stacks using laser radiation,
presented at: E-MRS 2013 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Oral Presentation)

I. Berthold, M. Müller, R. Ebert, S. Thomas, P. Matthes, M. Albrecht, H. Exner:
Investigation of micro structuring and magnetizing of spintronic layer stacks using laser irradiation,
In: Proceedings of Smart Systems Integration 109/2013

V. Schütz , A. Horn, U. Stute, H. Nagel:
Black silicon solar cell processing with high repetitive laser systems,
In: Proceedings of the 27th European Photovoltaic Solar Energy Conference (2012)

I. Berthold, M. Müller, S. Klötzer, R. Ebert, H. Exner:
Untersuchungen zur selektiven Magnetisierung von spintronischen Schichtsystemen mittels Laserstrahlung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 70-73

M. Müller, R. Ebert, J. Schille, H. Exner:
Investigation of laser micro structuring of spintronic stack layers using a highly - repetitive femtosecond laser,
presented at: E-MRS 2012 Spring Meeting, Strasbourg, France, Symposium V (Poster)

M. Pfeiffer, A. Engel, K. Günther, H. Grüttner, S. Weißmantel, G. Reiße:
Ripple-Bildung mittels Femtosekundenlaserstrahlung auf Oberflächen von Metallen, Hartstoffen und superharten, wasserstofffreien amorphen Kohlenstoffschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011, S. 51-57

J. Schille:
Fast, precise, and reliable 3D laser microstructuring,
In: SPIE Newsroom (2010)

J. Schille, U. Löschner, L. Schneider, R. Ebert, H. Exner::
Mikrobearbeitung mit hochrepetierender Ultrakurzpuls-Laserstrahlung,
In: Lasermagazin 5-6/2009, S. 32-33

U. Löschner, J. Schille, S. Mauersberger, R. Ebert, H. Exner:
Defect Generation in transparent Material with Ultrashort Laser Pulses,
In: Proceedings of 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing, WePL-17, #31 (2009)

S. Liang, J. Schille, P. Scully, J. Vaughan, M. Benyezzar, D. Liu, W. Perrie:
Feasibility of 3D refractive index structures written by femtosecond laser in polymethyl methacrylate,
In: Proceedings of 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing, TuPL-21, #131 (2009)

R. Wagner, J. Gottmann, A. Horn, E. W. Kreutz:
Subwavelength ripple formation induced by tightly focused femtosecond laser radiation,
In: Applied Surface Science 252 (2006), S. 8576-8579

G. Ligbado, A. Horn, E. W. Kreutz, M. Krauß, N. Siedow, H. Hensel:
Coloured marking inside glass by laser radiation,
In: Proceedings of SPIE 5989 (2005)

R. Wagner, J. Gottmann, A. Horn, E. W. Kreutz:
Formation of subwavelength-laser-induced periodic surface structures by tightly focused femtosecond laser radiation,
In: Proceedings of SPIE 5662 (2004), S. 168

U. Löschner, H. Exner:
Laserstrahlumformen von Silizium,
In: Lasermagazin 5-6/2003, S. 47

H. Exner, U. Löschner, J. Frühauf, E. Gärtner:
Laser Bending of Silicon – a New Technology for Microsystems,
In: Forschung aktuell, Forschungsbericht Hochschule Mittweida (2003), S. 152-157

H. Exner, U. Löschner:
Contactless laser bending of silicon microstructures,
In: Proceedings of SPIE 5116 (2003), S. 383-392

U. Löschner, H. Exner, E. Gärtner, J. Frühauf:
Laser bending of silicon,
In: Proceedings of SPIE 4977 (2003), S. 86-93

U. Löschner, H. Exner:
Laserumformen von Silizium-Mikrostrukturen,
In: Tagungsband der Remagener Physiktage, Fortschritt- Berichte VDI 17 (2002), Nr. 231, S. 225-232

R. Ebert, R. Böhme, P. Regenfuß, S. Klötzer, B. Keiper, G. Reiße, H. Exner:
Lasermikrobearbeitung im Vakuum,
In: Lasermagazin 6/2001, S. 22

E. Gärtner, J. Frühauf, U. Löschner, H. Exner:
Laser bending of etched silicon microstructures,
In: Microsystem Technologies 7 (2001), S. 23-26

R. Ebert, G. Reiße, B. Keiper, H. Exner, C. Merzdorf:
Erzeugen und Verfüllen von Mikroöffnungen in Pyrexglas,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 14/2000, S. 11-16

C. Doppleb, R. Lipfert, D. Hülsenberg, A. -M. Nagel, H. Exner:
Generation of magnetic areas by laser treatment,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/1998, S. 135-142

J. Werner, A. Heilmann, V. Hopfe, F. Homilius, B. Steiger, O. Stenzel:
Changes of the Optical-Properties of Plasma Polymer Silver Composite Films Caused by Laser-Annealing,
In: Thin Solid Films 237 (1994), Nr. 1-2, S. 193-199

B. Keiper, G. Reiße, S. Weißmantel:
Laser induced structural modifications of excimer laser ablated carbon films,
In: Proceedings of 4th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films and 11th Conference on High Vacuum, Interfaces and Thin Films (eds. G. Hecht, F. Richter, J. Hahn) (1994), S. 686

S. Weißmantel:
Beiträge zur Ionen- und Lasermodifizierung dünner Schichten,
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 1994

S. Weissmantel, G. Reisse, S. Schulze:
Ion and Laser-Induced Modification of Optical and Structural-Properties of i-Carbon Films,
In: Diamond and Related Materials 2 (1993), Nr. 11, S. 1379-1386

S. Weissmantel, G. Reisse, S. Schulze:
Laser-Induced Structural Phase-Changes in i-Carbon Films,
In: Applied Surface Science 54 (1992), S. 317-321

G. Reiße, S. Weißmantel, U. Seifert:
Lasermodifizierung von Schichten und Festkörperoberflächen,
In: Wer macht was - in den Physikalischen Technologien, Tagungsband der gemeinsamen Veranstaltung des Bundesministeriums für Forschung und Technologie der BRD und des Ministeriums für Forschung und Technologie der DDR, Hrsg.: VDI 2/1990, S. 270

D. Schäfer, B. Brauns, R. Wolf, B. Steiger, G. Zscherpe:
Laser-Assisted Methods for Deposition, Diagnostics and Modification of Optical Thin-Films,
In: Vacuum 41 (1990), Nr. 4-6, S. 1084-1086

Projektanfragen / -koordination
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. Horst Exner
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1413
Fax: +49 (0) 3727 / 58-1867
eMail: exner(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr. rer. nat. Steffen Weißmantel
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1449
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21449
eMail: steffen.weissmantel(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr. rer. nat. habil. Alexander Horn
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1069
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21069
eMail: horn4(at)hs-mittweida.de

Prof. Dr.-Ing. Udo Löschner
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1336
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21336
eMail: udo.loeschner(at)hs-mittweida.de