Laserpulsabscheidung dünner Schichten (PLD)

Die Laserpulsabscheidung (engl. Pulsed Laser Deposition, PLD) ist ein Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (engl. Physical Vapour Deposition, PVD). Bei dieser Technologie wird der Laserstrahl über das zu verdampfende bzw. abzuscheidende Material (Target) gerastert, wobei die Laserpulsenergie ein schlagartiges Verdampfen des Materials bewirkt. Für dieses Verfahren werden in der Regel Excimerlaser mit Wellenlängen im UV-Bereich eingesetzt. Die massive Volumenzunahme beim Phasenübergang vom festen in den gasförmigen Aggregatzustand beschleunigt das teils ionisierte Material (Plasma) zum gegenüber befindlichen zu beschichtenden Bauteil (Substrat), auf dessen Oberfläche sich der ablatierte Teilchenstrom als dünne Schicht anlagert. Die ionisierten Teilchen können hierbei durch magnetische Felder in ihrer Ausbreitungsrichtung abgelenkt werden. Dieser Prozess findet im Hochvakuum statt, um eine nahezu ungehinderte Ausbreitung des Targetmaterials zu ermöglichen.

Die Schwerpunkte der Forschungsarbeiten im Bereich der Laserpulsabscheidung dünner Schichten am Laserinstitut Hochschule Mittweida liegen in der Erzeugung spintronischer Schichtsysteme als nächster Stufe in der Informationsverarbeitung und -darstellung sowie in der Abscheidung superharter Schichten zum Verschleißschutz von Werkzeugen in der Materialbearbeitung. Hierfür werden Schichten aus nanokristallinem Diamant (nD), aus tetraedrisch gebundenem amorphem Kohlenstoff (ta-C) sowie Mehrlagenschichten aus alternierenden superharten und zähen Zwischenschichten abgeschieden.

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Entwicklung eines routinetauglichen sensorgestützten Messsystems zur Charakterisierung von Produkten der Lebensmittel- und Getränkeindustrie mit Hilfe einer dotierten, kohlenstoffbasierten elektrochemischen Messzelle (QUALIDETECT)

Laufzeit: 2016 - 2019
Förderung: BMBF (KMU-innovativ)
Projektpartner:
  • Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e.V. Meinsberg (KSI)
  • HENZE-HAUCK Prozessmesstechnik/Analytik GmbH Dessau
  • PRIGNITZ Mikrosystemtechnik GmbH Wittenberge
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Laserpulsabscheidung (PLD) von partikulatfreien Schichtsystemen unter Einsatz von Piko- und Femtosekunden-Lasern (PIKOFEMTO-PLD), Teilprojekt: Entwicklung von Technologien zur Laserpulsabscheidung (PLD) von partikulatfreien Schichtsystemen

Laufzeit: 2014 - 2016
Förderung: BMWi (ZIM)
Projektpartner:
  • Creavac GmbH Dresden
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Untersuchungen zur Entwicklung von industrietauglichen PLD-Verfahren und -Anlagen (EIVA-PLD)

Laufzeit: 2013 - 2015
Förderung: BMWi / AiF / ZIM
Projektpartner:
  • Creavac GmbH Dresden
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Schichtstapel und Nanokomposite aus superharten Materialien (Schinasuma)

Laufzeit: 2011 - 2014
Förderung: BMBF (AiF - IngenieurNachwuchs)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
  • Roth&Rau AG Hohenstein-Ernstthal
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Erzeugung und Untersuchung spintronischer Schichtsysteme - Spintronik, TP 1: PLD extrem präziser Nanometerschichtstapel

Laufzeit: 2010 - 2013
Förderung: SAB / EU (Verbesserung der Forschungsinfrastruktur und Forschungsvorhaben mit jeweils anwendungsnaher Ausrichtung)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • Fraunhofer ENAS Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Laserpulsabscheidung von Schichten und Lasermikrostrukturierung von Festkörpermaterialien (LAMIS)

Laufzeit: 2009 - 2012
Förderung: SMWK / EU (ESF Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • Professur Biotechnologie
  • Professur Maschinenbau
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Webseite: www.lamis-research.de/

 

ta-C Beschichtung von Bauteilen trocken laufender Verbrennungsmotoren (MOTAC)

Laufzeit: 2008 - 2011
Förderung: BMBF (FHprofUnt)
Projektpartner:
  • Golle Motor AG Dresden
  • IAV GmbH Chemnitz
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Konzeption einer industrietauglichen PLD-Anlage

Laufzeit: 2006 - 2007
Förderung: Industrie
Projektpartner:
  • SEAVAG AG (Japan)
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Laserpulsabscheidung von spannungsfreien superharten Kohlenstoffschichten (ta-C) auf verschleißbeanspruchten und optischen Oberflächen und Untersuchung der praxisrelevanten Eigenschaften (Latac)

Laufzeit: 2004 - 2007
Förderung: BMBF (AiF Programm FH3)
Projektpartner:
  • Roth & Rau AG, Wüstenbrand/Hohenstein-Ernstthal
  • Eifeler Werkzeuge GmbH Düsseldorf
  • H.O.T. Härte- und Oberflächentechnik GmbH&Co.KG Nürnberg
  • Cera System Verschleißschutz GmbH Hermsdorf
  • AXO Dresden GmbH Heidenau
  • Institut für Konstruktion und Verbundbauweisen e.V. an der TU Chemnitz
  • TU Chemnitz - Institut für Physik
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Abscheidung von kubischen BN-Schichten auf Präzisionswerkzeugen

Laufzeit: 2003 - 2006
Förderung: SMWK (Forschungsförderung)
Projektpartner:
  • Roth & Rau AG, Wüstenbrand/Hohenstein-Ernstthal
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Erzeugung von h-BN/c-BN-Schichtsystemen durch ionengestützte Laserpulsablation

Laufzeit: 1999 - 2003
Förderung: DFG
Projektpartner:
  • Universität Göttingen
  • Universität Ulm
  • Forschungszentrum Rossendorf
  • Universität Kassel
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Laserpulsabscheidung von haft- und verschleißfesten kubischen Bornitridschichten

Laufzeit: 1998 - 2000
Förderung: SMWK (Forschungsförderung)
Projektpartner:
  • Roth & Rau GmbH Wüstenbrand
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Laserpulsabscheidung und -modifizierung dünner Schichten

Laufzeit: 1996 - 1998
Förderung: SMWK (Landesinnovationsstipendium)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

UV-Photonengestützte Deposition von kubischen Bornitridschichten

Laufzeit: 1995 - 1998
Förderung: DFG (Superharte Materialien)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Laser PVD von C3N4 - Schichten

Laufzeit: 1996 - 1997
Förderung: BMBF / AiF (Fachhochschulprogramm)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße
R. Bertram, M. Nieher, M. Hartwig, D. Haldan, S. Weißmantel:
Superharte ta-C Schichten und Schichtstapel,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 171-174

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Fundamental Studies on the Deposition of Nanocrystalline Diamond (n-D) Films by Means of Pulsed Laser Deposition (PLD) in Oxygen Atmosphere,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 128-131

S. Weißmantel, J. Maus, G. Reiße:
Pulsed Laser Deposition of Multilayers of Nanometer Thick Metallic Films,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 17-20

J. Maus, G. Reiße, S. Weißmantel:
Herstellung von nanometerdicken metallischen Schichtstapeln für spintronische Anwendungen mittels Laserpulsabscheidung (PLD),
In: Lasermagazin 4/2014, S. 30-31

K. Günther:
Erzeugung und Anwendungspotential von mit dem PLD-Verfahren hergestellten superharten amorphen Kohlenstoffschichten,
Aachen: Shaker Verlag, 2014, ISBN: 978-3-8440-2959-8

J. Maus, S. Weißmantel, G. Reiße:
Laserpulsabscheidung von metallischen Schichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 74-77

S. Scholze, E. Wißuwa, K. Günther, S. Weißmantel:
Anwendung von ta-C Schichten bei der spanenden Bearbeitung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 78-82

S. Scholze, E. Wißuwa, K. Günther, S. Wilhelm:
Produktivität und Qualität bei der Bohrungsherstellung mit ta-C beschichteten HSS-Wendelbohrern,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011

K. Günther, G. Reiße, S. Weißmantel, M. Nieher:
Schichtdickenverteilung von tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C- Schichten) unter Verwendung der Laserpulsabscheidung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011, S. 47-50

R. Bertram, S. Weißmantel, G. Reiße:
Auswirkungen der Laserpulsbestrahlung von c-BN-Schichten mit Photonen einer Wellenlänge von 157 nm,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011, S. 58-61

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Fundamental Studies on the Deposition of Nanocrystalline Diamond (n-D) Films by Means of Pulsed Laser Deposition,
In: Proceedings of International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (2011)

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant - Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD),
In: German Journal for Young Researchers, Zeitschrift für Nachwuchswissenschaftler 2/2011, S. 12-16

K. Guenther, S. Weissmantel, F. Marquardt, M. Pfeiffer:
Tribologische Eigenschaften von mikrostrukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C),
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 23-28

S. Scholze, E. Wißuwa, K. Günther:
HSS gehört beim Bohren noch lange nicht zum „alten Eisen“,
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 365-368

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant - Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD),
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 17-22

A. -C. Teichmann, M. Pfeiffer, K. Günther, S. Weißmantel, P. Radehaus:
Effect of microstructured and ta-C coated glass-surfaces on cell growth,
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 35-39

K. Günther, S. Weißmantel, G. Reiße, M. Pfeiffer, F. Marquardt:
Tribological properties of super-hard amorphous carbon (ta-C) layers microstructured by fs-laser pulses,
In: Proceedings of Structural Materials Technology Conference (2010)

S. Weißmantel, G. Reiße, R. Delmendahl, R. Paetzel:
UV-Excimer Laser Fabrication of Super-Hard Diamond-Like Carbon Films,
In: Advanced Materials & Processes 4/2010, S. 23

S. Weißmantel, G. Reiße, R. Delmendahl:
MATERIALS PROCESSING: Excimer lasers boost performance of diamond-like carbon films,
In: Laser Focus World (2010)

R. Delmendahl, S. Weißmantel, G. Reiße:
Excimer laser deposition of super-hard coatings,
In: Proceedings of SPIE 7581 (2010), S. 110

K. Günther, S. Weißmantel, R. Böttcher, M. Pfeiffer:
Tribologische Untersuchungen an unstrukturierten und strukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (taC - Schichten),
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2009

G. Reiße, S. Weißmantel, D. Rost:
Laserpulsablation von hexagonalem Bornitrid - Charakterisierung desablatierten Teilchenstromes,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2009

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Reduction of particulate density in BN films prepared by pulsed laser deposition,
In: Journal of Physics: Conference Series 59 (2007), S. 453

S. Weißmantel, D. Rost, G. Reiße, M. Nieher:
Laserpulsabscheidung von spannungsfreien superharten amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C),
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 5/2006, S. 41-44

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Erzeugung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten mit niedrigen inneren Spannungen durch sukzessives Laserpulsabscheiden und –tempern,
In: Galvanotechnik 97 (2006), Nr. 4, S. 948

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Reduction of particulate density in BN films prepared by pulsed laser deposition,
In: Proceedings of Conference on Laser Ablation (2005)

M. Baum, J. Nestler, D. Rost, S. Weissmantel, T. Otto, G. Reisse, T. Geßner:
Improved Silicon Master Tools for Hot Embossing,
In: Proceedings of Micro System Technologies (2005), S. 76

G. Reiße, S. Weißmantel:
Excimer-Laser Assisted Deposition of Carbon and Boron Nitride-Based High-Temperature Superconducting Films,
In: D. Basting, G. Marowsky (eds.): Excimer Laser Technology, Berlin Heidelberg: Springer-Verlag, 2005, ISBN: 978-3-540-20056-7, S. 335-350

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Preparation of superhard amorphous carbon films with low internal stress,
In: Surface & Coatings Technology 188-189 (2004), S. 268

G. Reiße, S. Weißmantel, D. Rost:
Preparation of super-hard coatings by pulsed laser deposition,
In: Applied Physics A 79 (2004), Nr. 4, S. 1275-1278

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Superhart dank Laserpuls,
In: Werkzeug und Formenbau 2/2004, S. 38

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Erzeugung und Eigenschaften von spannungsfreien ultraharten Kohlenstoffschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 1/2003, S. 108

S. Weißmantel, D. Rost, G. Reiße:
Abbau innerer Spannung von superharten diamantartigen Kohlenstoffschichten durch Laserpulsbestrahlung,
In: Lasermagazin 4/2003, S. 29

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Preparation and properties of pulsed laser deposited diamond-like cabon films,
In: Thin Solid Films (2003)

S. Weißmantel, D. Rost, G. Reiße:
Laserpulsabscheidung dünner Schichten - Verfahrensmerkmale und Anwendungsmöglichkeiten,
In: Lasermagazin 6/2002, S. 23

S. Weißmantel, D. Rost, G. Reiße:
Laserpulsabscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten bei hohen Energiefluenzen,
In: Lasermagazin 3/2002, S. 29

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Magnetic field assisted increase of growth rate and reduction of particulate incorporation in pulsed laser deposited boron nitride films,
In: Applied Surface Science 197-198 (2002), S. 494-498

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Stresses in pulsed laser deposited cubic boron nitride films,
In: Diamond and Related Materials 11 (2002), Nr. 3-6, S. 1276-1280

G. Reiße, S. Weißmantel:
Pulsed laser deposition of adherent hexagonal / cubic boron nitride layer systems at high growth rates,
In: Applied Surface Science 197-198 (2002), S. 331-337

G. Lehmann, P. Hess, S. Weissmantel, G. Reisse, P. Scheible, A. Lunk:
YoungYoung’s modulus and density of nanocrystalline cubic boron nitride films determined by dispersion of surface acoustic waves,
In: Applied Physics A 74 (2002), Nr. 1, S. 41-45

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Magnetfeldgestützte Laserpulsabscheidung von Bornitridschichten,
In: Lasermagazin 6/2001, S. 23

G. Reiße, S. Weißmantel:
In-situ Spannungsmessungen an Hartstoffschichten,
In: Lasermagazin 3/2001, S. 39

G. Reiße, S. Weißmantel:
Pulsed laser deposition of cubic boron nitride films at high growth rates,
In: Diamond and Related Materials 10 (2001), Nr. 11, S. 1973

S. Weissmantel, G. Reisse:
Properties of ion-assisted pulsed laser deposited h-BN/c-BN layer systems,
In: Applied Surface Science 154-155 (2000), S. 428

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper:
Laserpulsabscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten,
In: Lasermagazin 3/2000, S. 19

G. Reiße, S. Weißmantel:
Ionengestützte Laserpulsabscheidung von kubischen Bornitridschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 14/2000, S. 157-269

G. Reiße, S. Weißmantel:
Properties of ion-assisted pulsed laser deposited h-BN/c-BN layer systems,
In: Applied Surface Science 154-155 (2000), S. 428

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, S. Schulze:
Microstructure and mechanical properties of pulsed laser deposited boron nitride films,
In: Diamond and Related Materials 8 (1999), S. 377-381

G. Reiße, S. Weißmantel:
Pulsed laser deposition of hexagonal and cubic boron nitride films,
In: Applied Physics A 69 (1999), S. 749

G. Reiße, S. Weißmantel, U. Falke:
Characterisation of ion-assisted pulsed laser deposited cubic boron nitride films,
In: Thin Solid Films 355-356 (1999), S. 256

G. Reiße, S. Weißmantel, S. Schulze:
Characterisation of pulsed laser deposited h-BN films and h-BN/c-BN layer systems,
In: Thin Solid Films 355-356 (1999), S. 105

G. Reiße, S. Weißmantel:
Ionengestützte Laserpulsabscheidung von kubischen Bornitridschichten,
In: Lasermagazin 3/1999, S. 27

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, A. Weber, U. Falke, M. Röder:
Pulsed Laser Deposition and Modification of Cubic Boron Nitride Films,
In: Applied Surface Science 127-129 (1998), S. 444-450

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, U. Falke, M. Röder:
Microstructure and Mechanical Properties of Pulsed Laser Deposited Cubic Boron Nitride Films,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/1998, S. 107-116

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, U. Falke:
Pulsed Laser Deposition and Modification of Diamondlike Carbon Films,
In: Applied Surface Science 127-129 (1998), S. 500-506

R. Ebert, G. Reiße, H. Exner:
Kammern für die großeflächige Laserbearbeitung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/1998, S. 63-69

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, U. Broulik, H. Johansen, R. Scholz:
Properties of pulsed laser deposited optical coatings,
In: Applied Surface Science 108 (1997), Nr. 1, S. 1-8

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, A. Weber:
Properties of pulsed laser deposited boron nitride films,
In: Applied Surface Science 108 (1997), Nr. 1, S. 9-16

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, A. Weber:
Laserpulsabscheidung kubischer Bornitridschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2 (1996), Nr. 7, S. 101-111

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, U. Broulik:
Deposition of optical coatings by pulsed laser ablation,
In: Applied Surface Science 96-98 (1996), S. 752-759

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, B. Steiger, H. Johansen, T. Martini, R. Scholz:
Influence of LN2 substrate cooling on optical properties of laser pulse deposited oxide films,
In: Applied Surface Science 86 (1995), S. 114-121

G. Reiße, S. Weissmantel, B. Keiper, B. Steiger:
Deposition of optical coatings by pulsed laser ablation,
In: Laser-Induced Thin Film Processing, edited by Jan.J.Dubowski, SPIE Proceedings Series 2403 (1995), S. 212-222

B. Keiper, S. Weißmantel, G. Reiße, S. Schulze:
Properties of laser ablated amorphous carbon films,
In: Laser-Induced Thin Film Processing, edited by Jan.J.Dubowski, SPIE Proceedings Series 2403 (1995), S. 203-211

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, B. Steiger, H. Johansen, T. Martini, R. Scholz:
Influence of ion bombardment on the refractive index of laser pulse deposited oxide films,
In: Applied Surface Science 86 (1995), S. 107-113

S. Weißmantel, B. Keiper, G. Reiße:
Laserpulsabscheidung von Oxidschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida (1994)

P. Thomsenschmidt, D. Schäfer, B. Steiger, H. Brausse, H. Johansen, T. Martini:
Laser-Assisted Deposition of Optical Coatings,
In: Thin Solid Films 253 (1994), Nr. 1-2, S. 28-32

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper:
Optical properties of laser deposited oxide films,
In: Proceedings of 4th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films and 11th Conference on High Vacuum, Interfaces and Thin Films (eds. G. Hecht, F. Richter, J. Hahn) (1994), S. 320

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper:
Microstructural properties of laser deposited oxide films,
In: Proceedings of 4th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films and 11th Conference on High Vacuum, Interfaces and Thin Films (eds. G. Hecht, F. Richter, J. Hahn) (1994), S. 89

G. Reisse, B. Keiper, S. Weissmantel, H. Johansen, R. Scholz, T. Martini:
Properties of Laser-Pulse Deposited Oxide-Films,
In: Thin Solid Films 241 (1994), Nr. 1-2, S. 119-125

G. Reisse, B. Keiper, S. Weissmantel, H. Johansen, T. Martini, R. Scholz:
Optical and Microstructural Properties of Laser-Pulse Deposited Oxide-Films,
In: physica status solidi (a) 145 (1994), Nr. 2, S. 461-470

Projektanfragen / -koordination
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr. rer. nat. Steffen Weißmantel
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1449
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21449
eMail: steffen.weissmantel(at)hs-mittweida.de