Laserpulsabscheidung dünner Schichten (PLD)

Die Laserpulsabscheidung (engl. Pulsed Laser Deposition, PLD) ist ein Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (engl. Physical Vapour Deposition, PVD). Bei dieser Technologie wird ein Laserstrahl im Hochvakuum über das zu verdampfende bzw. abzuscheidende Material (Target) gerastert, wobei die Laserpulsenergie ein schlagartiges Verdampfen des Materials bewirkt. Die ablatierten Teilchen werden zum gegenüberliegenden zu beschichtenden Bauteil (Substrat) beschleunigt, auf dessen Oberfläche sie sich als dünne Schicht abscheiden. Die ionisierten Teilchen können hierbei durch magnetische Felder in ihrer Ausbreitungsrichtung abgelenkt werden.

Am Laserinstitut Hochschule Mittweida beschäftigen wir uns vorrangig mit der Abscheidung superharter spannungsfreier amorpher Kohlenstoffschichten (ta-C) sowohl als Einzelschichten, als auch in Form von Multilayer-Systemen bestehend aus Subschichten mit variierender Schichthärte. Ein weiteres Forschungsfeld stellt die Abscheidung kubischer Bornitridschichten (c-BN) sowie von Bilayer-Stapeln mit wechselnder Bornitridphase dar. Ein dritter Schwerpunkt ist die Erzeugung metallischer Mehrschichtsysteme, darunter auch spintronischer Schichtsysteme, bestehend aus mehreren Lagen extrem dünner Einzelschichten aus verschiedenen Metallen und Legierungen.

Superharte ta-C-Schichten

In vielen Zweigen der Industrie werden hochverschleißfeste Beschichtungen benötigt, um beispielsweise Werkzeuge und Bauteile zu schützen und/oder zu funktionalisieren. Während sich die Vertreter der klassischen Hartstoffschichten (z. B. Titannitrid) bereits in großem Umfang im industriellen Einsatz befinden, sind die neuartigen ta-C-Schichten aufgrund ihrer herausragenden Eigenschaften momentan auf dem besten Wege dahin.

Bei den am LHM erzeugten ta-C-Schichten handelt es sich um spezielle Vertreter der diamantartigen Kohlenstoffschichten (engl. diamond like carbon – DLC), welche bzgl. ihrer Härte bis dato unübertroffen sind. Zudem sind die Schichten aufgrund eines patentierten Verfahrens nahezu spannungsfrei. Bei optimalen Abscheidungsparametern sind Härten von bis zu 70 GPa (vgl. Diamant: H = 100 GPa) realisierbar, wodurch die Beschichtungen äußerst widerstandsfähig gegen Verschleiß sind. Aufgrund der geringen mittleren Oberflächenrauigkeiten (Ra) von wenigen Nanometern und des niedrigen Reibkoeffizienten (≤ 0,1) sind diese Schichten auch für tribologische Anwendungen prädestiniert. Mittels haftvermittelnder Subschichten ist es möglich, auf unterschiedlichsten Substratmaterialien hohe Haftfestigkeiten zu erzielen. Die niedrigen Temperaturen während der Schichterzeugung (< 90 °C) ermöglichen es, neben unterschiedlichen Metallen und Legierungen, auch temperaturempfindliche Materialien (Kunststoffe, Gläser, etc.) zu beschichten. Neben dem Einsatz zum Verschleißschutz bieten die ta-C-Schichten aufgrund ihrer chemischen Resistenz, Biokompatibilität und Dotierbarkeit eine breite Palette an weiteren Anwendungsmöglichkeiten, bspw. in der Medizintechnik, Lebensmittelindustrie oder Sensorik. Mittels Laserpulsabscheidung können homogene Schichtdicken von wenigen Nanometern bis zu einigen 10 µm erzeugt werden, wobei die resultierende Schichthärte zwischen 10 und 70 GPa über verschiedene Verfahrensparameter quasi frei wählbar ist. Dies ermöglicht es material- und anwendungsspezifische Schichtdesigns (Multilayer) umzusetzen.

c-BN-Schichten

Als dritthärtestes bekanntes Schichtmaterial nach Diamant und ta-C rückte kubisches Bornitrid bereits vor über 20 Jahren in den Fokus zahlreicher Forschergruppen weltweit. Im Gegensatz zu den superharten Kohlenstoffschichten, weist c-BN eine noch bessere thermische und chemische Beständigkeit auf. Dies ermöglicht u. a. auch einen Einsatz als Verschleißschutzschicht in der Stahlbearbeitung bei höheren Temperaturen.

Kubisches Bornitrid wird bislang überwiegend mittels Sinterprozess als Verschleißschutzschicht aufgebracht oder in Pulverform für Schleifprozesse eingesetzt. Trotz weitreichender Forschung auf diesem Gebiet ist es bislang kaum gelungen, c-BN als phasenreine, spannungsfreie Schicht mit guter Oberflächenqualität und einer für industrielle Anwendungen akzeptablen Produktivität zu erzeugen. Die Laserpulsabscheidung ist hierbei eines der wenigen Verfahren, mit denen dies gelungen ist.

Die Forschung am LHM konzentriert sich aktuell auf die Abscheidung phasenreiner c-BN-Schichten mit möglichst niedrigen Eigenspannungen auf verschiedenen Substratmaterialien sowie auf Schichtstapel mit wechselnder Bornitridphase.

Metallische Mehrschichtsysteme

Metallische Schichten und Mehrschichtsysteme werden typischerweise mittels Molekularstrahlepitaxie (engl. molecular beam epitaxy – MBE) oder Sputterverfahren abgeschieden. Dies ist aber auch mittels PLD-Verfahren möglich. Die besonderen Vorteile sind hierbei das in weiten Parameterbereichen charakteristische atomlagenweise (Layer-by-Layer) Wachstum von Schichten, die hohe Reinheit des Verfahrens sowie die im Vergleich zu anderen geeigneten Verfahren hohen Schichtaufwachsraten, womit sehr dünne geschlossene und dichte Metallschichten mit Dicken von wenigen Monolagen realisiert werden können. Ebenso können auch problemlos Legierungsmaterialien, bei denen beide Stoffe in fester Phase vorliegen, stöchiometrisch in die aufwachsende Schicht überführt werden. Beispiele für solche Schichtsysteme sind die sogenannten spintronischen Metallmehrschichtsysteme oder auch GMR-Schichtsysteme, wie sie in der Datenspeicherung und Sensorik Anwendung finden.

Bei geeigneten Prozessparametern liegen die erzielbaren mittleren Schichtdickenzunahmen pro Laserpuls in Abhängigkeit vom verwendeten Targetmaterial zwischen 0,005 nm und 0,032 nm. Somit ist eine exakte Einstellung der Schichtdicke der einzelnen Subschichten über die Anzahl der Laserpulse möglich. Um eine gute homogene Schichtdickenverteilung über einen großen Substratbereich zu erreichen, kann eine vorab simulierte Relativbewegung des Substrates zum stationären Laserstrahlspot auf dem Target erfolgen. So können bis zu 4" große Si-Wafer mit einer Schichtdickenabweichung von weniger als ± 5 % beschichtet werden. AFM-Messungen an 5 nm und 10 nm dicken Metallschichten ergaben mit Ausnahme von Kupfer glatte homogene Schichtoberflächen mit einer Flächenrauheit von Sq < 0,3 nm (Kupfer: Sq = 0,6 nm). Somit können metallische Mehrschichtsysteme mit einer Grenzflächenrauheit von weniger als 1 nm erzeugt werden. Die Bedeckung der Schichtoberfläche dieser Mehrschichtsysteme mit Partikulaten beträgt dabei nur 0,3 %.

Aktuell forschen wir am LHM an der Laserpulsabscheidung kontaminations- und partikulatfreier Metallschichten und Mehrschichtsysteme unter Einsatz einer speziellen Magnetfilterablenkeinheit als Partikulat-Separationfilter.

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Verschleißschutz mittels neuartiger superharter Kohlenstoffschichten (ta-C)

Laufzeit: 2020 - 2022
Förderung: BMWi (EXIST-Programm Phase 1)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Smart University Grid Saxony5 - Wissensströme intelligent vernetzen, TP: Co-Creation Lab Oberflächentechnik

Laufzeit: 2018 - 2022
Förderung: BMBF (Innovative Hochschule)
Projektpartner:
  • HTW Dresden (Verbundkoordination)
  • HTWK Leipzig
  • Hochschule Zittau/Görlitz
  • Westsächsische Hochschule Zwickau
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Laserpulsabscheidung (PLD) von Multilagenschichtsystemen aus Kohlenstoff für verschleißbeanspruchte Oberflächen (Multilagenkohlenstoffschichten)

Laufzeit: 2017 - 2020
Förderung: SAB / ESF
Projektpartner:
  • CREAVAC-Creative Vakuumbeschichtung GmbH Dresden
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Webseite: www.laser.hs-mittweida.de/institut/projekte/multilagenkohlenstoffschichten.html

 

Entwicklung eines routinetauglichen sensorgestützten Messsystems zur Charakterisierung von Produkten der Lebensmittel- und Getränkeindustrie mit Hilfe einer dotierten, kohlenstoffbasierten elektrochemischen Messzelle (QUALIDETECT)

Laufzeit: 2016 - 2019
Förderung: BMBF (KMU-innovativ)
Projektpartner:
  • Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik e.V. Meinsberg (KSI)
  • HENZE-HAUCK Prozessmesstechnik/Analytik GmbH Dessau
  • PRIGNITZ Mikrosystemtechnik GmbH Wittenberge
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas)

Laufzeit: 2015 - 2019
Förderung: SMWK / EU (ESF Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. H. Exner
  • Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Horn
  • Prof. Dr.-Ing. U. Löschner
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Webseite: www.laser.hs-mittweida.de/institut/projekte/ultralas.html

 

Laserpulsabscheidung (PLD) von partikulatfreien Schichtsystemen unter Einsatz von Piko- und Femtosekunden-Lasern (PIKOFEMTO-PLD), Teilprojekt: Entwicklung von Technologien zur Laserpulsabscheidung (PLD) von partikulatfreien Schichtsystemen

Laufzeit: 2014 - 2016
Förderung: BMWi (ZIM)
Projektpartner:
  • Creavac GmbH Dresden
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Untersuchungen zur Entwicklung von industrietauglichen PLD-Verfahren und -Anlagen (EIVA-PLD)

Laufzeit: 2013 - 2015
Förderung: BMWi / AiF / ZIM
Projektpartner:
  • Creavac GmbH Dresden
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Schichtstapel und Nanokomposite aus superharten Materialien (Schinasuma)

Laufzeit: 2011 - 2014
Förderung: BMBF (AiF - IngenieurNachwuchs)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
  • Roth&Rau AG Hohenstein-Ernstthal
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Erzeugung und Untersuchung spintronischer Schichtsysteme - Spintronik, TP 1: PLD extrem präziser Nanometerschichtstapel

Laufzeit: 2010 - 2013
Förderung: SAB / EU (Verbesserung der Forschungsinfrastruktur und Forschungsvorhaben mit jeweils anwendungsnaher Ausrichtung)
Projektpartner:
  • TU Chemnitz
  • Fraunhofer ENAS Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Laserpulsabscheidung von Schichten und Lasermikrostrukturierung von Festkörpermaterialien (LAMIS)

Laufzeit: 2009 - 2012
Förderung: SMWK / EU (ESF Nachwuchsforschergruppe)
Projektpartner:
  • Professur Biotechnologie
  • Professur Maschinenbau
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel
Webseite: www.lamis-research.de/

 

ta-C Beschichtung von Bauteilen trocken laufender Verbrennungsmotoren (MOTAC)

Laufzeit: 2008 - 2011
Förderung: BMBF (FHprofUnt)
Projektpartner:
  • Golle Motor AG Dresden
  • IAV GmbH Chemnitz
  • 3D-Micromac AG Chemnitz
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. S. Weißmantel

 

Konzeption einer industrietauglichen PLD-Anlage

Laufzeit: 2006 - 2007
Förderung: Industrie
Projektpartner:
  • SEAVAG AG (Japan)
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Laserpulsabscheidung von spannungsfreien superharten Kohlenstoffschichten (ta-C) auf verschleißbeanspruchten und optischen Oberflächen und Untersuchung der praxisrelevanten Eigenschaften (Latac)

Laufzeit: 2004 - 2007
Förderung: BMBF (AiF Programm FH3)
Projektpartner:
  • Roth & Rau AG, Wüstenbrand/Hohenstein-Ernstthal
  • Eifeler Werkzeuge GmbH Düsseldorf
  • H.O.T. Härte- und Oberflächentechnik GmbH&Co.KG Nürnberg
  • Cera System Verschleißschutz GmbH Hermsdorf
  • AXO Dresden GmbH Heidenau
  • Institut für Konstruktion und Verbundbauweisen e.V. an der TU Chemnitz
  • TU Chemnitz - Institut für Physik
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Abscheidung von kubischen BN-Schichten auf Präzisionswerkzeugen

Laufzeit: 2003 - 2006
Förderung: SMWK (Forschungsförderung)
Projektpartner:
  • Roth & Rau AG, Wüstenbrand/Hohenstein-Ernstthal
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Erzeugung von h-BN/c-BN-Schichtsystemen durch ionengestützte Laserpulsablation

Laufzeit: 1999 - 2003
Förderung: DFG
Projektpartner:
  • Universität Göttingen
  • Universität Ulm
  • Forschungszentrum Rossendorf
  • Universität Kassel
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Laserpulsabscheidung von haft- und verschleißfesten kubischen Bornitridschichten

Laufzeit: 1998 - 2000
Förderung: SMWK (Forschungsförderung)
Projektpartner:
  • Roth & Rau GmbH Wüstenbrand
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Laserpulsabscheidung und -modifizierung dünner Schichten

Laufzeit: 1996 - 1998
Förderung: SMWK (Landesinnovationsstipendium)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

Laser PVD von C3N4 - Schichten

Laufzeit: 1996 - 1997
Förderung: BMBF / AiF (Fachhochschulprogramm)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße

 

UV-Photonengestützte Deposition von kubischen Bornitridschichten

Laufzeit: 1995 - 1998
Förderung: DFG (Superharte Materialien)
Projektpartner:
Projektleitung: Prof. Dr. rer. nat. habil. G. Reiße
J. Maus, S. Rupp, P. Matthes, H. Grüttner, R. Bertram, S. Weißmantel:
Untersuchung von laserpulsablatierten Tantal als Haftvermittler für den Einsatz von superharten Kohlenstoffschichten auf biomedizinischem Implantatmaterial,
In: Scientific Reports, 11. Mittweidaer Lasertagung 1/2019, S. 155-160

R. Bertram, S. Weißmantel:
PLD-preparation of carbon based multilayered coatings,
In: Scientific Reports, 10. Mittweidaer Lasertagung 2/2017, S. 85-87

R. Bertram, M. Nieher, M. Hartwig, D. Haldan, S. Weißmantel:
Superharte ta-C Schichten und Schichtstapel,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 171-174

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Fundamental Studies on the Deposition of Nanocrystalline Diamond (n-D) Films by Means of Pulsed Laser Deposition (PLD) in Oxygen Atmosphere,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 128-131

S. Weißmantel, J. Maus, G. Reiße:
Pulsed Laser Deposition of Multilayers of Nanometer Thick Metallic Films,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2015, S. 17-20

J. Maus, G. Reiße, S. Weißmantel:
Herstellung von nanometerdicken metallischen Schichtstapeln für spintronische Anwendungen mittels Laserpulsabscheidung (PLD),
In: Lasermagazin 4/2014, S. 30-31

K. Günther:
Erzeugung und Anwendungspotential von mit dem PLD-Verfahren hergestellten superharten amorphen Kohlenstoffschichten,
Aachen: Shaker Verlag, 2014, ISBN: 978-3-8440-2959-8

J. Maus, S. Weißmantel, G. Reiße:
Laserpulsabscheidung von metallischen Schichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 74-77

S. Scholze, E. Wißuwa, K. Günther, S. Weißmantel:
Anwendung von ta-C Schichten bei der spanenden Bearbeitung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2/2012, S. 78-82

S. Scholze, E. Wißuwa, K. Günther, S. Wilhelm:
Produktivität und Qualität bei der Bohrungsherstellung mit ta-C beschichteten HSS-Wendelbohrern,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011

K. Günther, G. Reiße, S. Weißmantel, M. Nieher:
Schichtdickenverteilung von tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C- Schichten) unter Verwendung der Laserpulsabscheidung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011, S. 47-50

R. Bertram, S. Weißmantel, G. Reiße:
Auswirkungen der Laserpulsbestrahlung von c-BN-Schichten mit Photonen einer Wellenlänge von 157 nm,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/2011, S. 58-61

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Fundamental Studies on the Deposition of Nanocrystalline Diamond (n-D) Films by Means of Pulsed Laser Deposition,
In: Proceedings of International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (2011)

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant - Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD),
In: German Journal for Young Researchers, Zeitschrift für Nachwuchswissenschaftler 2/2011, S. 12-16

K. Guenther, S. Weissmantel, F. Marquardt, M. Pfeiffer:
Tribologische Eigenschaften von mikrostrukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C),
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 23-28

S. Scholze, E. Wißuwa, K. Günther:
HSS gehört beim Bohren noch lange nicht zum „alten Eisen“,
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 365-368

H. Grüttner, S. Weißmantel:
Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant - Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD),
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 17-22

A.-C. Teichmann, M. Pfeiffer, K. Günther, S. Weißmantel, P. Radehaus:
Effect of microstructured and ta-C coated glass-surfaces on cell growth,
In: NWK 12 (2011), ISBN: 978-3-00-034329-2, S. 35-39

K. Günther, S. Weißmantel, G. Reiße, M. Pfeiffer, F. Marquardt:
Tribological properties of super-hard amorphous carbon (ta-C) layers microstructured by fs-laser pulses,
In: Proceedings of Structural Materials Technology Conference (2010)

S. Weißmantel, G. Reiße, R. Delmendahl, R. Paetzel:
UV-Excimer Laser Fabrication of Super-Hard Diamond-Like Carbon Films,
In: Advanced Materials & Processes 4/2010, S. 23

S. Weißmantel, G. Reiße, R. Delmendahl:
MATERIALS PROCESSING: Excimer lasers boost performance of diamond-like carbon films,
In: Laser Focus World (2010)

R. Delmendahl, S. Weißmantel, G. Reiße:
Excimer laser deposition of super-hard coatings,
In: Proceedings of SPIE 7581 (2010), S. 110

K. Günther, S. Weißmantel, R. Böttcher, M. Pfeiffer:
Tribologische Untersuchungen an unstrukturierten und strukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (taC - Schichten),
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2009

G. Reiße, S. Weißmantel, D. Rost:
Laserpulsablation von hexagonalem Bornitrid - Charakterisierung desablatierten Teilchenstromes,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 4/2009

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Reduction of particulate density in BN films prepared by pulsed laser deposition,
In: Journal of Physics: Conference Series 59 (2007), S. 453

S. Weißmantel, D. Rost, G. Reiße, M. Nieher:
Laserpulsabscheidung von spannungsfreien superharten amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C),
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 5/2006, S. 41-44

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Erzeugung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten mit niedrigen inneren Spannungen durch sukzessives Laserpulsabscheiden und –tempern,
In: Galvanotechnik 97 (2006), Nr. 4, S. 948

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Reduction of particulate density in BN films prepared by pulsed laser deposition,
In: Proceedings of Conference on Laser Ablation (2005)

M. Baum, J. Nestler, D. Rost, S. Weissmantel, T. Otto, G. Reisse, T. Geßner:
Improved Silicon Master Tools for Hot Embossing,
In: Proceedings of Micro System Technologies (2005), S. 76

G. Reiße, S. Weißmantel:
Excimer-Laser Assisted Deposition of Carbon and Boron Nitride-Based High-Temperature Superconducting Films,
In: D. Basting, G. Marowsky (eds.): Excimer Laser Technology, Berlin Heidelberg: Springer-Verlag, 2005, ISBN: 978-3-540-20056-7, S. 335-350

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Preparation of superhard amorphous carbon films with low internal stress,
In: Surface & Coatings Technology 188-189 (2004), S. 268

G. Reiße, S. Weißmantel, D. Rost:
Preparation of super-hard coatings by pulsed laser deposition,
In: Applied Physics A 79 (2004), Nr. 4, S. 1275-1278

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Superhart dank Laserpuls,
In: Werkzeug und Formenbau 2/2004, S. 38

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Erzeugung und Eigenschaften von spannungsfreien ultraharten Kohlenstoffschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 1/2003, S. 108

S. Weißmantel, D. Rost, G. Reiße:
Abbau innerer Spannung von superharten diamantartigen Kohlenstoffschichten durch Laserpulsbestrahlung,
In: Lasermagazin 4/2003, S. 29

S. Weißmantel, G. Reiße, D. Rost:
Preparation and properties of pulsed laser deposited diamond-like cabon films,
In: Thin Solid Films (2003)

S. Weißmantel, D. Rost, G. Reiße:
Laserpulsabscheidung dünner Schichten - Verfahrensmerkmale und Anwendungsmöglichkeiten,
In: Lasermagazin 6/2002, S. 23

S. Weißmantel, D. Rost, G. Reiße:
Laserpulsabscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten bei hohen Energiefluenzen,
In: Lasermagazin 3/2002, S. 29

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Magnetic field assisted increase of growth rate and reduction of particulate incorporation in pulsed laser deposited boron nitride films,
In: Applied Surface Science 197-198 (2002), S. 494-498

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Stresses in pulsed laser deposited cubic boron nitride films,
In: Diamond and Related Materials 11 (2002), Nr. 3-6, S. 1276-1280

G. Reiße, S. Weißmantel:
Pulsed laser deposition of adherent hexagonal / cubic boron nitride layer systems at high growth rates,
In: Applied Surface Science 197-198 (2002), S. 331-337

G. Lehmann, P. Hess, S. Weissmantel, G. Reisse, P. Scheible, A. Lunk:
YoungYoung’s modulus and density of nanocrystalline cubic boron nitride films determined by dispersion of surface acoustic waves,
In: Applied Physics A 74 (2002), Nr. 1, S. 41-45

G. Reiße, D. Rost, S. Weißmantel:
Magnetfeldgestützte Laserpulsabscheidung von Bornitridschichten,
In: Lasermagazin 6/2001, S. 23

G. Reiße, S. Weißmantel:
In-situ Spannungsmessungen an Hartstoffschichten,
In: Lasermagazin 3/2001, S. 39

G. Reiße, S. Weißmantel:
Pulsed laser deposition of cubic boron nitride films at high growth rates,
In: Diamond and Related Materials 10 (2001), Nr. 11, S. 1973

S. Weissmantel, G. Reisse:
Properties of ion-assisted pulsed laser deposited h-BN/c-BN layer systems,
In: Applied Surface Science 154-155 (2000), S. 428

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper:
Laserpulsabscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten,
In: Lasermagazin 3/2000, S. 19

G. Reiße, S. Weißmantel:
Ionengestützte Laserpulsabscheidung von kubischen Bornitridschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 14/2000, S. 157-269

G. Reiße, S. Weißmantel:
Properties of ion-assisted pulsed laser deposited h-BN/c-BN layer systems,
In: Applied Surface Science 154-155 (2000), S. 428

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, S. Schulze:
Microstructure and mechanical properties of pulsed laser deposited boron nitride films,
In: Diamond and Related Materials 8 (1999), S. 377-381

G. Reiße, S. Weißmantel:
Pulsed laser deposition of hexagonal and cubic boron nitride films,
In: Applied Physics A 69 (1999), S. 749

G. Reiße, S. Weißmantel, U. Falke:
Characterisation of ion-assisted pulsed laser deposited cubic boron nitride films,
In: Thin Solid Films 355-356 (1999), S. 256

G. Reiße, S. Weißmantel, S. Schulze:
Characterisation of pulsed laser deposited h-BN films and h-BN/c-BN layer systems,
In: Thin Solid Films 355-356 (1999), S. 105

G. Reiße, S. Weißmantel:
Ionengestützte Laserpulsabscheidung von kubischen Bornitridschichten,
In: Lasermagazin 3/1999, S. 27

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, A. Weber, U. Falke, M. Röder:
Pulsed Laser Deposition and Modification of Cubic Boron Nitride Films,
In: Applied Surface Science 127-129 (1998), S. 444-450

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, U. Falke, M. Röder:
Microstructure and Mechanical Properties of Pulsed Laser Deposited Cubic Boron Nitride Films,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/1998, S. 107-116

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, U. Falke:
Pulsed Laser Deposition and Modification of Diamondlike Carbon Films,
In: Applied Surface Science 127-129 (1998), S. 500-506

R. Ebert, G. Reiße, H. Exner:
Kammern für die großeflächige Laserbearbeitung,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 9/1998, S. 63-69

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, U. Broulik, H. Johansen, R. Scholz:
Properties of pulsed laser deposited optical coatings,
In: Applied Surface Science 108 (1997), Nr. 1, S. 1-8

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, A. Weber:
Properties of pulsed laser deposited boron nitride films,
In: Applied Surface Science 108 (1997), Nr. 1, S. 9-16

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, A. Weber:
Laserpulsabscheidung kubischer Bornitridschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida 2 (1996), Nr. 7, S. 101-111

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, U. Broulik:
Deposition of optical coatings by pulsed laser ablation,
In: Applied Surface Science 96-98 (1996), S. 752-759

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, B. Steiger, H. Johansen, T. Martini, R. Scholz:
Influence of LN2 substrate cooling on optical properties of laser pulse deposited oxide films,
In: Applied Surface Science 86 (1995), S. 114-121

G. Reiße, S. Weissmantel, B. Keiper, B. Steiger:
Deposition of optical coatings by pulsed laser ablation,
In: Laser-Induced Thin Film Processing, edited by Jan.J.Dubowski, SPIE Proceedings Series 2403 (1995), S. 212-222

B. Keiper, S. Weißmantel, G. Reiße, S. Schulze:
Properties of laser ablated amorphous carbon films,
In: Laser-Induced Thin Film Processing, edited by Jan.J.Dubowski, SPIE Proceedings Series 2403 (1995), S. 203-211

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper, B. Steiger, H. Johansen, T. Martini, R. Scholz:
Influence of ion bombardment on the refractive index of laser pulse deposited oxide films,
In: Applied Surface Science 86 (1995), S. 107-113

S. Weißmantel, B. Keiper, G. Reiße:
Laserpulsabscheidung von Oxidschichten,
In: Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida (1994)

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In: Proceedings of 4th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films and 11th Conference on High Vacuum, Interfaces and Thin Films (eds. G. Hecht, F. Richter, J. Hahn) (1994), S. 320

G. Reiße, S. Weißmantel, B. Keiper:
Microstructural properties of laser deposited oxide films,
In: Proceedings of 4th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films and 11th Conference on High Vacuum, Interfaces and Thin Films (eds. G. Hecht, F. Richter, J. Hahn) (1994), S. 89

G. Reisse, B. Keiper, S. Weissmantel, H. Johansen, R. Scholz, T. Martini:
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In: Thin Solid Films 241 (1994), Nr. 1-2, S. 119-125

G. Reisse, B. Keiper, S. Weissmantel, H. Johansen, T. Martini, R. Scholz:
Optical and Microstructural Properties of Laser-Pulse Deposited Oxide-Films,
In: physica status solidi (a) 145 (1994), Nr. 2, S. 461-470

Anfragen
Forschungsgruppenleiter
Prof. Dr. rer. nat. Steffen Weißmantel
Tel.: +49 (0) 3727 / 58-1449
Fax: +49 (0) 3727 / 58-21449
eMail: steffen.weissmantel(at)hs-mittweida.de